三元合金靶择优溅射稳定态的表面化学成分

《三元合金靶择优溅射稳定态的表面化学成分》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、



















!"%&



*+,-./01"#$%$"&’()"#2$34567"819:;,-</0=>?.

2、@ABC51DBEFGHI,-EJ@AKXY1@AK?@ABC5cde*f$ghijk1’*#);,<.$lmnabKopPqrstuSv561qr#wx4yz{

3、}1v[~hijkG1&++%6nK][Lx+,<./01tS#&%v1v/01QxRqrw1S/0@AK

4、-!./0





















ef[%Y+Z


[N£QRNO?





!"#
$%&’



()*+,-./01234






















5、





56789:;<=./>01?>@w¤




¥?¦
§[¨HrAB-1CDE)I©ª«¬!F®¯>
F78>GHIJ%KLM°±
²)fj[%z{³´µ¶.·
-NOPQRNO$%S&TP>Dn¸¹º»¼®¯>°±
²)
U6NOV&FWXY+Z[%f½¾a[%¿
±
À#±
Á¢
PQRNO
43](;
^











_‘La

6、[%-
QR

F&Tb[











































%QRV9cdefg
hi




w¤





"

j[IJ%klmDno$pqr





"




"









sVt?>uvwxyz{

7、










#
$
F}Z~DnT







>Dn$pq&

8、trnf



TDn$Dn
~78KM-NO












%a[%[U6?

!"#$%&’()*+,-

./0
12345678&#KLMNU6?





T









;L¡Z¢"
&%9%









9、!!"#$%&
’()!!
!万方数据

 







gh4^_‘ij‘kEDl m
noTp4qrstl)uv:w !"#$xyz{

10、5%&8:}~

11、)

%&’()*+,-uv!1

./0!1
23

45


6!*789: