浅析TFT—LCD制造使用的检测方法

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1、2009年第1期显示器件技术一13一浅析TFT—LCD制造使用的检测方法彩虹股份张兵摘要：在TI~-LCD产品制造过程中配置足够的检测设备是一件事半功倍的事情，无论LCD的工程管理检查还是产品选别检查，检测设备无疑是提高生产线良品率、确保产品质量和降低生产成本的重要工具。同时也为改进工艺技术方案和不良解析工作提供相关的数据、信息和证据。本文就聊’在制造过程中的检测从产品选别检查、工程管理检查、不良解析技术方面做一个系统的阐述。关键词：工程管理检测产品选别检测不良解析制造TFF-LCD面板过程中，为了提高生产良性传感器

2、相机、干涉滤光片、衍射光、线性照明系率和确保产品质量，会在制程中进行工程管理检统和全反射光线系统组成。查与产品选别检查。无论是r兀’一LCD工程管理检线性照明系统是由卤素灯和玻璃灯管组成，查还是产品选别检查，使用的检查手法主要分为它们可以单独进行更换。线性照明系统对基板短目视检查、光学检查(图像检查)以及电气检查。轴方向照明，标准照射角度为45。，在一2。叶8。范围目视检查是用人眼来完成检查的功能，如面内可调。对干涉像和衍射像分别进行取向时，可板的宏观不良检查、显微镜的表面检查或面板模以采用不同的入射角度进行照射，当

3、入射光角度块的最终画质检查，目前仍以受过训练的人员进也为45。时，得到等角度的反射光，此角度用于干行检查为主，但为了判断定量化和节省人力，面板涉取像，衍射成像时的常用人射光角度为50。。自动检查装备的导人也持续进行中。用于对反射光进行干涉的滤镜有3种：光学检查最为常见，是利用光学方式取得成50onm(绿)、570nm(橙)640nm(红)，分别可以滤过品的表面状态，以影像处理来检出异物或图案异这3种波长的光线。常等。因为属于非接触式，可在中问工程检查半成在实际成像中，线性照明系统的角度同其标品，且检查品种灵活性高，被

4、导入Array、CF及准角度(45。)相差越大，衍射成像的光强越小，因Cell制程。电气检查是用数组测试器高速检查TFr功能或TFr周边线路的电气特性，检出瑕疵的关连性比光学检查更佳。下面就产品选别检查中经常使用的目视检查、光学检查、电气检查对应的设备机台分别做出不同的阐述。l目视检查目视检查对应的主要机台是宏观微观检测。宏观微观检查装置英文为Micro&MacroCheckofMachine，简称MMM。Micro&Macro检查机的光线系统结构为线1Macro外观检查装置示意图一14一浅析T丌一LCD制造使用的检

5、测方法2009年第1期此需要提高灯的光量作为补充，衍射图案的清晰早，操作人员通过操作手摇杆检查。自动装置简称程度与照相机偏离反射光线的角度有关。AM，英文名字为AutoMacro，具有效率高、可图l中扩散光主要应用于干涉成像，而收束review功能，严格按照设定的程序和制定参数执性照明主要应用于衍射成像。行，但对不良的判断能力比手动差，且无法投射。干涉作用的强弱反映在照相机中就是光强的一般在蚀刻后检查使用AM机较多，在显影强弱，因此当膜厚发生变化时，在由检测得到的图后检查使用MM机较多。片上的亮度就会不同，根据灰度就

6、能判别缺陷。宏观微观检查装置、宏观检查装置、自动宏观对于基板上不同的图案要选择不同的偏离角检查装置等，虽然名称不同，但其功能大同小异，度。衍射模式对图案缺陷比较敏感，主要能检出色在这里就不加赘述了。泽不均和聚焦不准。2光学检查干涉模式主要用于检测膜厚不均、异物等缺光学检查对应的主要机台是光学自动外观检陷，具体采用哪一种波长的滤镜，由产品技术人员查设备。光学自动外观检查设备英文为根据成像效果的好坏确定。AutomaticopticinspectionMachine，简称AOI，最线性传感器照相机主要作用是宏观自动检早应

7、用在PCB板检测中，后来逐渐应用到LCD查，采用线性传感器照相机的原因，一是其成像简行业中。单，便于图形处理；二是线性照明的范围的宽度为随着制程精密度要求的提升，AOI设备已被78mm，实际照相机的取像范围只是中间l一广泛用在Tb'T-LCD相关制程中，用来取代传统速2mm，这样可以使成像更为精确。率慢、人工成本高、检测良率低、缺乏可重复性的由于反射光线的光路太长，如果单纯沿着基人工视觉检测设备(ManualVisionInspection，板的反射光线放置照相机。则会导致设备过大，因MVI)。此在实际设备中采用镜子

8、改变光路，以减小设备光学自动外观检查装置是阵列检查中的十分体积。光路通过反射到达滤镜后照相机成像。重要的设备，在G检、D检等产品检查中都要用在实际检查中，光学部分不动，基板随平台移到，并且还可以用到各工序的工艺检查中。动，单次取像时间12s，基板检查时会分别进行干光学检测(图像检测)设备一般由照明系统、涉取像和衍射取像。取像系统、机电控制系统、