TFT-LCD制造 流程技术.ppt

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1、TFT-LCD產品的基本構成元件基本構造背光板(BACKLIGHT)下偏光片(DOWNPOLARIZER)薄膜基板(TFTSUBSTRATE)液晶(LIQUIDCRYSTAL)彩色濾光片(COLORFILTER)上偏光片(UPPOLARIZER)TFT-LCD構造剖面圖下偏光片薄膜(TFT)基板液晶電晶體彩色濾光片上偏光片線路TFT-LCD的顯示原理(一)TFT-LCD的顯示原理(二)~~彩色濾光片上偏光片下偏光片背光源TFT基板液晶層TFTTurnOFFTFTTurnON光源經液晶層扭轉90°TFT-LCD的顯示原理(三

2、)彩色濾光片上偏光片下偏光片光源TFT基板液晶TFT-LCD的驅動原理紅藍綠黃白紫青DATADRIVERICSCANDRIVERICTFTRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBTFT(Array)Thin-FilmTransistorLC(Cell)LiquidCrystalLCMModuleArray:電晶體(矩形陣列)TFT基板生成Cell:面板生成(Panel)Module:產品模組組裝製造流程概述(一)製造流程概述(二)薄膜ThinF

3、ilm黃光PhotoColorFilterOK蝕刻Etch測試ArrayTest基板投入CELLTFTProcessTFT的製造流程概述(一)BOX5道光罩薄膜黃光蝕刻素玻璃TFT基板鍍膜(sputter,cvd)上光阻(coater)光罩(reticle)顯影(developer)顯影液對準,曝光(stepper)蝕刻(etch)去光阻液stripper去光阻酸,氣體鍍下一層膜TFT的製造流程概述(二)上光阻(coating)鍍第一層膜空白玻璃酸,氣體光罩對準,曝光(stepping)顯影液顯影(developing)蝕

4、刻(etching)TFT的循環製程圖解1顯影去光阻液去光阻(striping)鍍第二層膜上光阻對準,曝光光罩顯影液酸,氣體蝕刻TFT的循環製程圖解2去光阻液光阻剝離鍍第三層膜,請依之前所示範的方法舉一反三,自行模擬想像TFT的循環製程圖解3CELL的製造流程概述(一)TFT基板(TFTSubstrate)彩色濾光片(ColorFilter)CELL的製造流程概述(二)PI塗佈PICoatingPI塗佈PICoating配向Rubbing配向RubbingSpacer灑佈SpacerSpray框膠SealantDispen

5、ser點銀膠AgDispenser對位Misalignment熱壓Hotpress切割裂片Scribe&Break液晶注入LCinjection封口Endsealing再配向Isotropic偏光片貼片PolarizerAttachment加壓脫泡AutoClaveCell測試CelltestTFTCF穿透式TFTLCD側視圖PrintedcircuitboardPrismsheet偏光板TFT框膠TABDriverLSI擴散板Spacer分光片反射板側光偏光板畫素電極儲存電容液晶配向膜共通電極OvercoatColorf

6、ilterBlackmatrix玻璃基板螢光灯泡背光模組偏光板偏光板TFTArray液晶層ColorFilterTFT-LCD的剖面圖畫素結構圖何謂畫素(Pixel)?610mm720mm顯示色彩學(一)畫素(PIXEL)★構成螢幕上所有顏色的單位主要以三元色為主(紅、綠、藍)★其中紅、綠、藍三色則稱為子畫素畫素子畫素彩色濾光片ColorFilter紅藍綠黃白紫青顯示色彩學(二)不同畫素的組合及應用MosaicTriangleStrip適合AV動畫，小尺寸panel之設計。常用於Monitor，NB等大尺寸Panel。0.

7、200.250.306810121416189.4”8.4”7.8”6.5”12.1”11.3”10.4”15.0”14.1”13.3”12.1”10.4”14.1”15.0”DiagonalSizeofScreen(inch)PixelPitch(mm)8590951001051101201300.15140150160170115125(ppi)12.1”12.1”14.1”15.0”VGA(640x480)(921,600)SVGA(800x600)(1.44M)XGA(1024x768)(2.36M)SXGA+(1

8、400x1050)(4.41M)UXGA(1600x1200)(5.76M)QXGA(2048x1536)(9.44M)15.0”17.0”13.3”畫素與尺寸規格CrGlassInputColorFilterOutputBlackMatrixRsub-pixelGsub-pixelBsub-pixel