脉冲偏压电弧离子镀沉积ti-cu-n纳米复合膜

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1、沈阳理工大学硕士学位论文摘要纳米复合膜作为超硬膜的一大分支，以其优异的机械性能备受国内外科研工作者的青睐，其在工模具、刀具表面抗磨损、延长寿命等方面的应用领域逐渐扩大，具有很好的发展前景和应用潜力。纳米复合膜成为当前表面工程领域的发展前沿。工模具表面硬化涂层主要以TiN为主，并已投入了应用。但是纯TiN涂层的硬度仅为2200HV，在某些情况下还不能满足人们的需要。实践证明，若在TiN涂层中加入Cu元素，使薄膜形成纳米复合结构，会使薄膜硬度有较大的提高，并且对薄膜的性能和结构有很大的改善。电弧离子镀技术是

2、先进的表面工程技术之一，这种技术方法沉积速度快，对环境污染小，因此，近年来在国内外均得到了迅速的发展。本文采用脉冲偏压电弧离子镀在不锈钢和高速钢沉积Ti．cu．N薄膜，研究脉冲偏压幅值和占空比对薄膜成分、结构和性能的影响规律。结果表明，在不锈钢基体上沉积的Ti．cu-N薄膜，脉冲偏压幅值和占空比都影响TiN相的择优取向。Ti．Cu_N纳米复合膜中的Cu均以晶体的状态存在，和偏压幅值一起影响了TiN晶粒的生长。Ti．Cu．N纳米复合膜并没有出现明显硬度加强，主要原因是Cu含量超过了2．O％。在高速钢基体上

3、沉积Ti．Cu-N薄膜时，脉冲偏压幅值和占空比都影响TiN的择优取向，随着偏压幅值和占空比增加，择优取向由(111)转变为(220)。薄膜中的铜含量也随着偏压幅值和占空比变化。Ti．Cu-N纳米复合膜中的Cu以晶体的状态存在，和偏压幅值一起影响了TiN晶粒的生长。Ti．Cu-N纳米复合膜在脉冲负偏压幅值600V，占空比为30％时达到最高硬度值31．5GPa，其对应的Cu含量为1．75％，Cu含量超过2．O％时则未出现明显的硬度增强。因此，纳米复合薄膜的硬度与偏压幅值和铜含量密切相关。关键词：电弧离子镀；

4、纳米复合膜；择优取向；硬度沈阳理工大学硕士学位论文Abstract√bam面甜bIaI汕of1ll缸a一如腿，n柚o∞mp∞itc6lmsal劬臌muchd岫eslic柚dfb托ignTe辩arche稻duetoitsex∞U髓tmechaIIical哪nies．Theyh钾e900ddcVelopment脚cts粕dpot锄tialap讲i∞ti衄S’foftheyhavebeen诵dclyH∞dtoimpfoyemould粕dt00ls耐hce’swe缸-聆sist柚cc柚dtoextcndthci

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