集成电路工艺课程教学改革探析_李尊朝new

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1、第8卷第4期实验科学与技术Vol.8No.42010年8月ExperimentScienceandTechnologyAug.2010·专业实验教学·集成电路工艺课程教学改革探析李尊朝(西安交通大学电信学院，西安710049)摘要:集成电路工艺是微电子专业本科生重要的专业课程。针对课程特点，结合教学实际，提出了包括精心选择教学内容、多方位构建教学平台、注重创新能力培养等教学改革设想及措施，以激发学生的学习兴趣，提高课程教学质量，培养满足新世纪微电子工业所需的专业技术人才。关键词:集成电路工艺;教学改革;创新能力中图分类号:G642·423;TN405文献标志码:A文章编号:1672－4550(

2、2010)04－0090－03TeachingReformofIntegratedCircuitProcessLIZun-chao(SchoolofElectronicsandInformationEngineering，XianJiaotongUniversity，Xian710049，China)Abstract:IntegratedCircuitProcessisanimportantcorecourseformicroelectronicmajors.Basedonanalyzingthecharacteristicsandteachingpracticeofthecourse，som

3、epracticalmeasuresforteachingreformsincludingselectingteachingcontentscarefully，buildingteachingplatformsinmultiplewaysandstrengtheningthetrainingofcreativeabilitiesareproposed.Themeasurescanarousestudents'interest，improveteachingqualityandtraingraduatesqualifiedformicroelectronicindustryinthenewcen

4、tury.Keywords:integratedcircuitprocess;teachingreform;creativeability创新能力、满足新世纪微电子工业需求的专业技术1引言人才具有十分必要意义。作者在对国外、港台及内21世纪是微电子技术与产业持续发展的世纪，地多所高校教学活动调研的基础上，结合多年教学［1－2］微电子制造业作为一项战略性的基础产业，对于促工作实际，提出了几点教学改革设想及措施。进我国国民经济持续健康发展和保证国家安全具有2精心选择教学内容举足轻重的作用。集成电路工艺是微电子专业、电子科学与技术专业和其他相关专业重要的专业课，2.1精选原版教材其目的使学生学习和掌

5、握VLSI的主要工艺技术与首先考虑选用优秀英文原版教材，国外集成电原理，熟悉工艺设备的特点，培养学生工艺设计及路工艺教材大多数是由该领域颇有建树或教学经验［3］解决工艺问题的能力。课程具有实践性很强、理论丰富的教授编写的。他们不仅有丰富的教学经与实践结合紧密的特点，为学生以后进行工程设计验，并且具有相当多的科研成果和在企业的实际工和科研工作打下良好基础。优秀的IC设计工程师艺经验，其教材具有不少从实际工艺中提取的“活需要具备一定工艺基础，工艺设计和工艺操作的人性”成分及工艺设计实例。国内的集成电路工艺技员更要熟悉工艺技术及基本原理，以便获得性能优术与发达国家和地区差距较大，关于工艺技术的最越、

6、良率高的IC芯片。探讨集成电路工艺课程教新进展文献以英文为主，采用原版教材使学生尽早学方法，改革教学环节，提高教学质量，培养具有熟悉工艺技术的英文描述，为学生阅读英文文献扫清障碍。采用原版教材可以更直接参考国际知名高收稿日期:2009－11－26校的教学课件，便于引入他们的设计性和启发式教基金项目:教育部高等学校电子信息与电气学科教学指导学理念及更贴近生产实际的综合性教学案例。委员会教育教学改革与实践项目(C0926)，教2.2更新教学内容育部高等学校特色专业建设点项目(TS2385)。作者简介:李尊朝(1963－)，男，博士，副教授，主要从半导体技术以令人眩晕的速度发展，因此需要事半导体器件

7、及集成电路等方面的教学和研究随时跟踪微电子工艺的发展动态、技术前沿以及遇工作。到的挑战。微电子工艺技术的发展异常迅猛，特征第8卷第4期李尊朝:集成电路工艺课程教学改革探析·91·尺寸为45nm的集成电路已批量生产，高K介质/业的了解，利于企业选拔优秀学生。在安排学生去［4］金属栅层叠结构、应变硅技术已广泛采用。英企业实习方面，国外大学和企业之间已经积累了很特尔公司的创始人之一、摩尔定律的提出者Go