集成电路工艺学实验教学改革探析

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1、集成电路工艺学实验教学改革探析摘要：集成电路工艺学是沈阳化工大学电子科学与技术专业光电子方向的专业主干课，其课程内容多，知识面广，应用广泛，内容更新速度快。针对实验教学中教育资源利用率较低、学生自主创新能力不高的问题，本文将结合集成电路工艺学实验这门课的特点，提出了在现有实验平台的基础上，教师结合学生知识水平，巧妙地对学生进行分组实验，发挥学生主观能动性，尤其在实验内容和方式等方面做了新的尝试和探索。在实际教学过程中取得了良好的教学效果。关键词：集成电路工艺学实验教学教学改革1.引言集成电路工艺学是以半导体学为理论基础，研究半导体制造工艺过程

2、的科学［1］。沈阳化工大学的集成电路工艺学课程是电子科学与技术专业的主干课，结合本科教学，增强实践能力，培养创新人才为培养目标［2］。本文结合集成电路工艺学实验这门课程，立足于现有的硬件平台，从学生的身心发展角度出发，讨论了实验课教学存在的问题，并针对问题提出了人性化的改进方法。2.集成电路工艺学实验现状及存在的问题2.1实验前期准备不足。实验教师备课不充分。实验课堂问题是层出不穷的，随机的，原因也是无法预知的。因此要求教师对实验原理准确把握，对实验仪器熟练操作。而在现实中大部分教师的课前准备工作需要提髙。再者学生课前不预习，等到实验的时候现

3、看实验指导书，完全按照实验指导书的步骤做实验。2.2教学过于依赖实验教师。实验课上，有的学生不预习，只是单一按照实验指导书上的步骤做实验，遇到问题自己不思考，问老师，有的老师不引导学生，直接告诉学生怎么做，有的甚至直接把实验数据都给学生做出来了，导致学生动手能力很差，依赖程度增强。学生在实验过程中仅仅需要进行简单的连接，便可得到“理想”结果。使得实验课的价值大打折扣，也使得学生有理由不用在实验前做准备。2.3注重结果，忽略实验过程。实验是考查学生动手能力的课程。但是它仍旧是一门需要考查的课程，现有的考评方式较大的因素取决于最后考试时的表现，由

4、于实验本身的不确定性，以及一些随机问题，导致实验结果和预期的存在较大的偏差，甚至有的学生做完后没得到实验结果，这样有可能使得学生的分数大打折扣，导致学生一味重复老师所要求的实验，严格点说就是学生只关注了所谓的考点。至于实验课的目的和意义学生是不会重视的。2.实验教学改革2.1应用网络作为实验教学的平台。我们还积极采用该课程的网络课件，学生通过网络课件学习本实验，该课程的教学大纲、考试大纲、实验大纲、教学课件、模拟试题习题案例、最新发展动态等，均可由学生在网上直接查到。还可以跟学习好的同学和任课教师进行实时沟通、交流。学生通过网络课件参加测试。

5、学生的平时测验、中期总结等可通过网络教学平台，进行设计、评分，并按学院的统一要求，通过校园网将成绩录入"学生成绩管理系统”，从而加速学生的信息传送，便于学生及时查阅成绩和学校教务部门快速管理。2.2实验分组统一授予成绩。在实验课程开始前，对所有做实验的学生进行分组，按照自愿结合和强弱搭配的原则，实施小组长负责管理模式。一个小组在实验阶段是一个小的团队，小组的总成绩为每个学生的成绩。通过小组实验模式，有利于学生间的交流、研究，更有助于发挥团队协作能力。同时也降低了过分重视期末考试成绩的情况，使得考评方式更加人性化。1.3加强实验教学，理论用于实

6、践。在教学过程中，坚持理论和实践相结合的原则。建议开设最基本的半导体平面工艺实验，如氧化、扩散、离子注入、光刻、沉积。实验要求每组学生用抛光硅片，通过氧化、光刻、等工序制备晶体管，是一个典型的综合性、研究型实验。通过实验教学，既培养了学生的动手能力，又使学生掌握了科学的分析问题的方法。2.实验内容和方式的创新。本专业原有实验教学设备中，有验证性实验所占的比例较大，其中实验内容又多以服务于理论教学而设计。这类实验不利于培养学生的创新思维和创新能力。而综合性和设计性实验能从多角度、多层次、多方位、多途径锻炼学生，并对学生进行提问，提高学生分析问题

7、和解决问题的能力，同时也是培养学生实践能力和创新能力的重要手段。按照现有实验条件，我们首先对已有的实验设备进行了整合，通过调试和添加一些新的器件，把现有的6个实验中的3个变为综合性实验，例如氧化工艺实验，原有的实验通过创新改革后,达到以督促学生培养严谨客观的科研态度、规范正确的操作手法、独立思考和自主学习的能力，等等。3.结语上述实验教学改革，得到了学生的一致认同，改革调整了学生的知识结构，使学生实现从知识型向能力型、由单一型向复合型、从模仿型向创新型的转变。参考文献：[1]刘欢，王健，李金凤.《集成电路工艺》理论教学与实践改革探讨[J].考

8、试周刊，2012,1(1)：42-44.[2]刘欢，王健，李金凤•光电子技术实验教学改革探讨[J]•价值工程,2002,5(3)：14-16.