镧系元素掺杂bifeo3薄膜的生长模式与性能研究

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1、分类号：TQl72密级：公开蔚J匆Z鲈单位代码：10427学号：2011010035硕士学位论文镧系元素掺杂BiFe03薄膜的生长模式与性能研究研究生姓名导师姓名学科(领域)申请学位类别答辩时间满秋娟胡广达材料科学与工程工学硕士2014年5月27ElInvestigationontheGrowthModeandPropertiesofLanthanidesDopedBiFe03ThinFilmsByQiujuanManUndertheSupervisionofProf．GuangdaHuAThesisSubmitted

2、totheUniversityofJinanInPartialFulfillmentoftheRequirementsFortheDegreeofMasterofEngineeringUniversityofJinanJinan，Shandong，P．R．ChinaMay,2014原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本

3、人完全意识到本声明的法律责任由本人承担。论文作者签名：满秋娟El期：汐／牛．6．王关于学位论文使用授权的声明本人完全了解济南大学有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借鉴；本人授权济南大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。酸开口保密(年，解密后应遵守此规定)论文作者签名：谪狱娟日期：山L十．b．3济南大学硕士学位论文目录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

4、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11．1前言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．11．2铁电体的基本特征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．11．3铁电材料的发展历史⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．31．4铁电材料的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯41．5铁电薄膜的性能评价标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．41．6几种常用的铁电薄膜材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．61．6．1铅基PZT系

5、钙钛矿结构铁电薄膜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯61．6．2铋层状钙钛矿结构BIT系铁电薄膜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯61．6．3BFO基无铅铁电薄膜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯71．7BFO薄膜的研究进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯91．8本课题的主要研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯15第二章实验方案设计与研究方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．172．1实验试剂和设备仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯172．2铁电

6、薄膜的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯182．2．1铁电薄膜的制备技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．182．2．2前驱体溶液的配制⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．192．2．3Bio．9Ndo．1Fe03薄膜的制备工艺流程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯192．3铁电薄膜的结构与性能的表征方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．202．3．1X．射线衍射仪⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯202．3．2扫描电子显微镜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

7、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．2l2．3．3铁电性能测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．21第三章预处理温度对Bio．9Ndo．1Fe03薄膜结构和性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．233．1预处理温度对Bio．9Ndo．1Fe03薄膜结构的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯243．2预处理温度对Bio．9Ndo．1Fe03薄膜电学性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯253．2．1预处理温度对Bio．9Ndo．1Fe03薄膜铁电性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．253．2．2预处理温度对Bio．9Ndo．1Fe03薄

8、膜保持性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．293．．2．3预处理温度对Bio．9Ndo．1Fe03薄膜漏电性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．30镧系兀素掺杂BiFe03洱胰的生长模式与性能研咒3．3本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯31第四章退火温度对Bio．9Ndo．1Fe03薄膜结构和性能的影响⋯⋯⋯⋯