电子封装用低膨胀高导热钨铜复合材料的工艺研究

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时间:2019-02-25

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1、机械科学研究院硕士学位论文摘要关键词:钨铜金属基复合材料、显微组织、熔渗法、工艺参数、导热系数、热膨胀系数。机械科学研究院硕士学位论文AhstractStudyontheProcessofW/CuCompositeswithLowCTEandHighTCUsedforElectronicPackagingABSTRACTTheheatofIChasrisenseverelyalongwithitshighintegrationscale,sourgentrequirementofmaterial

2、swithhighthermalconductivity(TC)andlowcoefficientofexpansion(CTE)whichmatchtothoseofICmaterialshasbeenlaunched.Forthetungsten-copper(W/Cu)metallicmatrixcomposites(MMCs)havingtailorableTCandCTEpropertiesincertainrange,thisinvestigationaimsatwithdiscus

3、sionofcompositiondesign,preparingmethodsselectionandprocessparametersoptimizationtodevelopthekeytechnologyofW/Cucompositesmaterialsprocessing.Inthisinvestigation,thepreparationmethodselectionandprocessparametersoptimizationofW-15Cuhasbeencarriedthrou

4、gh.TheprocessexperimentresultsshowanefectiveandfeasiblewaytoprepareW/CucompositeswithlowCTEandhighTC,thatisthroughpretreatmentofCuandWpowders,additionofinducingCupowders,formingWskeletonunderhighpressure,andinfiltrationofCuintoWskeletonunderreductive

5、atmosphere.Furthermore,throughdiscussionofparameters,whichcanafecttheproprietiesandmicrostructureofW/Cucomposites,thefollowingmainresultscanbeobtained:1)Theexperimentresultsshowedthatthepretreatmentofthepowders,practicalsizeoftheWpowder,additionofthe

6、inducingCupowder,andthepurityoftherawmaterialsafectthepressingprosperitiesofWpowders;theporosityamountanditsdistribution,infiltrationtemperaturesplayimportantroleonthepropertyoftheW/CuMMCs,whiletheinfiltrationtimeandheating/coolingratehavelessefecton

7、thepropertyofW/CuMMCs.2)Theoxidationofrawmaterialscanbedecreasedandtheinfiltrationefectivenesscanbeenhancedinthereductiveatmosphere;alsothepressingpropertiesof机械科学研究院硕士学位论文Abstractskeletonandfluidityofcopperliquidintheinfiltrationprocesscanbeimproved

8、withtheadditionofinducingcopperpowders,andthecontentoftheinducingCuwasoptimizedtobeabout2.5-5%toreachthebestTCandCTEpropertiesoftheMMCS.3)TheparticlemeansizeandtheparticlesizedistributionofWpowdershavesignificantefectontheinfiltrationprocess.Theexper

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