國家奈米元件實驗室分析技術整合委託申請表

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1、國家奈米元件實驗室奈米量測技術整合委託申請表申請者姓名：身份證字號：　　　　　　　　　　　實驗室編號所屬單位：電話(必填)：地　　址：指導教授或主管親自簽章：計劃名稱：□國科會　　　　　　編號ＮＳＣ（卡號：S）申請者勿填　　　　　□其他e-mail(必填)：申請日期：交件日期：（請操作員填寫）預定完件日期：民國年月日研究領域或主題：請勾選□奈米電子□奈米光子□奈米量測□奈米製造及功能性材料□高頻技術□奈米生物電子與元件□奈米結構與分析□奈米系統模型與模擬□其他業界類別：□積體電路□電腦週邊□通訊□光電□精密機械□生物技術(非業界無須勾選)＊送件地點:□新竹□

2、台南＊取件地點:□新竹□台南一.分析內容及目的:二.材料特性結構:三.分析項目需求:非破壞性分析:1.□掃描探針顯微鏡系統(AFM)a.□大試片AFM/SCM　　b.□破片AFMc.□破片AFM/C-AFM特殊條件或注意事項:2.□X光薄膜繞射儀(XRD)編號材質觀察項目特殊要求θ-2θscanGIXRD特殊條件或注意事項:3.□化學分析電子儀(ESCA)a.□定性b.□ChemicalShift-待測元素:c.□定量-待測元素:特殊條件或注意事項:4.□薄膜測厚儀(α-step)特殊條件或注意事項:破壞性分析:1.□熱場發射掃描式電子顯微鏡(TFSEM:J

3、eol6500F)a.□二次電子(SEI)　b.□反射電子(BEI)特殊條件或注意事項: 2.□場發射掃描式電子顯微鏡(FESEM:Hitachi)a.□二次電子(SEI)　特殊條件或注意事項:3.□二次離子質譜儀(SIMS)　　　　a.□二次離子掃描‧MASSRANGEAMU‧質量解析度M/△M＝AMUb.□縱深分析　‧分析元素種類（MAX.7ELEMEENTS）‧分析縱深μm(請描述分析至哪一層結構後結束)‧欲定量元素(依重要性排序)

4、特殊條件或注意事項:4.□歐傑電子顯微鏡(SAM)a.□表面定性分析　　　　　　　　　　b.□縱深分析待測元素:;待測深度：c.□成像分析（Mapping）待測元素:特殊條件或注意事項:5.□場發射穿透式電子顯微鏡(TEM)編號材質觀察項目特殊要求HR(TEM)EDX(X-ray)特殊條件或注意事項:6.□試片製備a.□TEM試片-□Silicon製程□Sapphire製程□其它b.□SCM試片-□Silicon製程□Sapphire製程□其它特殊條件或注意事項:分析項目流程:(由技術服務人員填寫)分析項目統計:(由技術服務人員填寫)編號分析項目機台工程師片

5、數時數費用1　　　　　2　　　　　3　　　　　4　　　　　5　　　　　6　　　　　總計　　　技術服務負責人簽章：申請人簽章：（完件時請申請人填寫）◎填妥此表後請e-mail至楊君惠小姐，address:ivyyang@mail.ndl.org.tw或電話洽詢分機:7750。申請流程:申請者à技術服務負責人:楊君惠小姐à各機台工程師分析à技術服務人員彙整à顏似妙小姐處領取