奈米氣體感測器技術

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1、奈米氣體感測器技術林鴻明材料工程學系大同大學簡介氣體感測器技術的發展趨勢由傳統的陶瓷、液態電化學技術逐漸進展至厚膜、薄膜、半導體技術；目前更進展至微機電技術。產品趨勢多以輕、薄、短、小及省能源為訴求，微機電技術有助於感測元件大量生產，達到一致性、省能源、微小化、積體化、多功能及智慧化之目標。分析儀器與氣體感測器比較ComparisonbetweenanalyticalinstrumentsandgassensorsAnalyticalinstrumentGassensorDataprecisionexc

2、ellent(absolutevalue)excellent-fairDataacquisitiontimelongrealtimeSizelargecompactCosthighlowApplicationenvironmentalprocesscontrolmonitoringmonitoringstationarysitestationarysitemobilesite氣體污染容忍標準Airpollutants,theirconcentrationrangesandthemethodsofdete

3、ctioncurrentlyadoptedConcentrationrange(ppm)DetectionMethodGasInairInexhausts45CO2300-100010–2x10IRabsorptionISE(pH)thermalconductivity-3chemicalNOx10-101-2000luminescencea(<60)IRabsorptionPSelectrolysis-3SO210-101-2000flamephotometer(<100)UVfluorescence

4、IRabsorptionUVabsorptionPSelectrolysis-3chemicalO310-1luminescenceUVabsorption-6-3FC10–10leakageleakagedetector1-1000aEmissionstandardsforthermoelectricpowerplants(Japan).bAbbreviation:UV=ultraviolet,IR=infrared,PS=potentiostatic,ISE=ionselectiveelectrod

5、ecFC=Fluorocarbon氣體感測器商業化歷史氣體感測器發展的歷史商品化年代公司名及應用開發年代Riken-KeikiCo.觸媒燃燒型19231965瓦斯警報器、廢氣監視器FigaroEng,Inc.氧化物半導體型19621967酒精、瓦斯及多種氣體感測器BoschCo.固態電解質型19611976汽車用氧器感測器、環保氣體偵測器Lindstrom場效電晶體型19761976氫氣感測器(Pd-gateFET)化學感測器之工業應用化學感測器市場化學感測器的世界市場(單位：百萬馬克)年1988199

6、019952000國家德國223.7267.1451.8736.3其他西歐國家455.0543.3843.11374.0美國10341234.71674.72729.0日本442.0527.9892.61454.7合計2154.72573.03862.26294.0每年以10%之成長速度