JCT206 4-2011-半导体用透明石英玻璃棒.pdf

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1、ICS81．040．30Q35备案号：34408--2012JC中华人民共和国建材行业标准JC／T2064--2011半导体用透明石英玻璃棒Transparentquartzglassrodsforsemiconductor2011—12—20发布2012-07-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布刖罱JC，T2064—-2011本标准按照GB／T1．1—2009给出的规则起草。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC／TC447)归口。本标准负责起草单位：久智光电子材料科技有限公司。本标准参加起草单位：中国建筑材料检验认证中心

2、、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。本标准主要起草人：宋维宁、吴洁、王春玲、张锦。本标准为首次发布。1范围半导体用透明石英玻璃棒JC，T2064_一2011本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒(以下简称石英玻璃棒)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB／T3284石英玻璃

3、化学成分分析方法GBflT4121石英玻璃热变色性试验方法GB／T10701--2008石英玻璃热稳定性试验方法GB／T12442石英玻璃中羟基含量检验方法JC／T597—20“半导体用透明石英玻璃管3术语和定义JC／T597界定的术语和定义适用于本文件。4分类和标记4．1分类按用途分为太阳能级石英玻璃棒(T级)和电子级石英玻璃棒(p绣)。4．2标记产品按分类(T或D)、产品名称、产品规格、生产批号、标准编号的顺序标记。示例：符合JC／T2064--201l，直径为20姗，长度为l000咖，生产批号为20091221的太阳能级透明石英玻璃棒标记为：T一石英玻璃棒一20×1000

4、—20091221一JC／T2064--201l5要求5．1规格尺寸及尺寸公差5．1．1直径及直径公差JC仃2064--201f直径及直径公差应符合表l的规定。单位为毫米53理化性能531杂质元素含量5311T级石英玻璃棒JC，r20鲥—_2011T级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钴、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含量应小于等于30．00×10“，其中：铁含量应不大于l50×10‘，钛含量应不大于3．00×10一，铜含量应不大于080×10，硼含量应不大于0．20X104，锂、钠、钾总含量应不大于5．00X10。531．2D级石英玻璃棒D级石英玻璃棒的铝、铁、钙

5、、镁、钛、铜、钴、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含量应不大于25．00×101，其中：铁含量应不大于0．80×10一，钛含量应不大于2．00X10一，铜含量应不大于0，50×101，硼含量应不大于0．10×101，锂、钠、钾总含量应不大于2．50X10“。53．2羟基含量应不大于220x101。5．3．3热稳定性石英玻璃棒在1200"C±5℃下保温20min，置于20"C±5℃的空气中冷却，试验三次，不应出现裂纹、缺口或崩落(切、磨口处小于3mm的断面崩落不计)。5．3．4热变色性石英玻璃棒在1200"C±5℃下保温2h，在290nm波长处热处理前、后的透射比变化平均

6、值△丁应小于等于4％。5．3．5抗析晶性石英玻璃棒在1400。C±5℃下保温6h，析晶层平均厚度应小于等于80姗。5试验方法6．1规格尺寸及尺寸公差6．1．1直径、直径公差及椭圆度用分度值不大于0．02mm的游标卡尺等量具进行测量。测量石英玻璃棒两端及中部的直径，同一截面上测量点不少于3个，取所有测量数据中的最大值减公称直径所得代数差为直径上公差，最小值减公称直径所得代数差为直径下公差。同一截面上最大值减最小值，其差值的最大值为椭圆度值。6．1．2长度用分度值为1mm的钢直尺或钢卷尺沿长度方向测量最短处和最长处。6．1．3弯曲度将石英玻璃棒放在准确度不低于2级的平台上，使两端紧

7、贴平台转动石英玻璃棒，用分度值不大于o．02mm的塞尺测量石英玻璃棒与平台之间的最大间隙，用最大间隙值再除以公称长度。6．2外观质量将石英玻璃棒平行放于两支额定功率不低于36W荧光灯下，石英玻璃棒与光源距离不超过600mm，采用黑色衬底，进行目测检验，必要时可用分度值不大于0．02mm的游标卡尺等量具进行测量。3JC／T2064——tO¨63物理化学性能631杂质元素含量接GB／T3284的规定进行分析。71检验分类产品检验分为出厂检验和型式检验。72出厂检验72．1检验项目包括规格尺寸及尺