JCT181-2011-半导体用透明石英玻璃器件.pdf

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1、ICS81．040．30Q35备案号：34407--2012．】C中华人民共和国建材行业标准JC／T181—2011代替JC／T18l—198l(1996)半导体用透明石英玻璃器件Transparentquartzglassdevicesforsemiconductor2011-12—20发布2012-07-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布月

2、J吾JC／T181—2011本标准按照GB／T1．1—2009给出的规则起草。本标准代替JC／T18l一1981(1996)((QSY、DSY透明石英玻璃仪器》

3、。与JC／T181一1981(1996)相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：——标准名称改为《半导体用透明石英玻璃器件》；一一增加了术语和定义(见第3章)；——增加了分类和标记(见第4章)。——修改了材料要求(见第5章，1996年版的第1章)；一一增加了规格尺寸及尺寸偏差要求(见6．1)；——修改了外观质量要求(见6．2，1996年版的第3章)；——修改了应力要求(见6，3，19b6年版的第2章)；——增加了试验方法(见第7章)；——增加了检验规则(见第8章)：一一增加了对标志、包装、运输和贮存的要求(见第

4、9章)。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特利，玻璃标准化技术委员会(SAC／TC447)归口。本标准主要起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。本标准主要起草人：吴洁、杨晓会、刘坚。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：一一Tc／T181—1973、JC／T181--1981(1996)。半导体用透明石英玻璃器件J饥181--2011本标准规定了半导体用透咀石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运辅和贮存等。本标准适用于

5、半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件．包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶和透明石英清洗缸等。其他用遮的透明石英玻璃器件可参照率标准执行。51透明石英玻璃器件所用石荚管、石英棒应符台JC／T597--2011及JC／T2064--2011中对应的T级或D级产品的要求。52透明石英玻璃器件所用石萸板应无肉眼可见的气泡、气线、划痕等外观缺陷，杂质元紊含量应符台Jc／T597—2们1中对应的T级或D级产品的要求。JC，r181—20116要求6．1规格尺寸及尺寸偏差

6、由供需双方商定。6．2外观质量6．2．1所有接口的焊点应结实、牢固，接缝应平滑、无堆料、无变形。6．2．2不允许有析晶、炸裂、云雾、色斑、水迹、脏物；揪痕应无明显凸凹不平、光滑平整。6．2．3在平台上放置不应有明显歪斜、晃动，外形应均匀对称。6．2．4磨口不允许有亮面。6．3应力透明石英玻璃器件在应力仪中观察只允许呈现均匀紫红色。6．4磨口密封性透明石英玻璃器件盛水后不渗出。7试验方法7．1规格尺寸及尺寸偏差采用分辨率不低于被测参数允许公差的三分之一的仪器或设备。7．2外观质量在自然光下，采用目测检查。7．3

7、应力将产品平放在干涉色为紫红色的应力仪视场中，移动或旋转试样，使视场中出现亮度最大的干涉色观察试样各部位的颜色。7．4磨口密封性将水盛入磨口透明石英玻璃器件中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧，使水完全浸滴磨口，20s后，用滤纸擦拭，观察水液是否渗出。8检验规则8．1检验项目按第6章的要求。8．2判定规则每件产·帚均需符合第6章中的所有要求，若有一项不合格，则判该件产品不合格。29标志、包装、运输和贮存JC，T181—-20119．1标志91每批产品出厂时应附有产品合格证书，内容包括：a)产品分类“或D)、产品名

8、称；b)产品规格：c)生产批号；d)标准代号；e)检验员编号。9．1．2包装箱上应有储运图示标志，如“玻璃制品”、“小心轻放”、“请勿倒置”、“防潮”等字样或图形以及产品标记、厂名或商标。9．2包装产品在洁净环境下先单件包装，包装应满足防护、防尘的要求，避免产品的划伤、破损及污染。单件包装后如需再集装时，包装也应满足防护、防尘的要求。产品包装随箱放入产品合格证及装箱单。装箱单应注明数量或重量、装箱日期等。93运输在运输及搬运过程中要注意轻拿轻放，应有防雨措施。94贮存产品应贮存在无有害气体、干燥清洁的室内。㈣

9、删㈣咖JC厂r181—_2011巾华人民共和围建材行业标准半导体用透明石英玻璃器件JCIT181—20I1t中国建材工业小版社m版建筑材料工业技术监督研究中心(原国家建筑材料工业局标准化研究所)发行新华书店北京发行所发行各地新华书店经售地矿经研院印刷厂印刷版权所有不得翻印★开本880x12301／16印张0．5字数12千字2012年5月第一版2012年5月第一次印刷印数1—400定价12oo元书号：