JCT597-1995-半导体用透明石英玻璃管.pdf

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1、中华人民共和国建材行业标准JC/T597一1995半导体用透明石英玻璃管1主题内容与适用范围本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法，检验规则及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料，应用于半导体工业的透明石英玻璃管(以下简称石英玻璃管)。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准。2引用标准GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法GB5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法GB10701石英玻璃热稳定性检验方法GB/T12442石英玻璃中经基含量试验方法3术语3.1

2、气线:石英玻璃管壁内或表面的线状棱形空穴。3.2气线密度:每平方厘米中气线条数。3.3破皮气线:暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线，其边缘锋利。3.4色线:石英玻璃管上带有颜色的线条。3.5沟棱:石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱。3.6晶纹:石英玻璃管上有明显可见的各种微小的炸裂纹。3.7麻点:石英玻璃管壁上的小斑点。它是粘附在管壁上的粒状杂质经清除后残留的痕迹。3.8杂质:石英玻璃组成中二氧化硅(Si0,)以外的组分。3.9生料颗粒:透明石英玻璃管的内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。3.10透明颗粒:石

3、英玻璃管中完全熔化的透明石英质颗粒。3.11波纹:石英玻璃管的内、外壁圆周呈现轴向的波浪形凹凸不平。3.12色斑:在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。3.13气泡群:透明石英玻璃管壁中，由微小气泡(d、于标准中气泡的下限尺寸)密集而成的群集气泡。3.14揪痕:排除石英玻璃管壁上较大杂质点、气泡等弊病后留下的痕迹。3.15暗疤:透明石英玻璃管壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面的玻璃态(俗称雪花，破皮或梅花)。在高温熔烧中发橙色亮光。3.16炸裂:石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或碎裂。3.17析晶:透明石英玻璃在特定温度下析出

4、晶体，造成失透。3.18桔皮:透明石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的影像。3.19云雾:石英玻璃管烧制加工中，所产生的二氧化硅(Sioi)挥发物，冷凝后附着在表壁上的白色不透明物。国家建筑材料工业局1995一11一23批准1996一05一01实施JC/'r597一19953.20偏壁度:石英玻璃管同一横截面上最大、最小壁厚之差。3.21椭圆度:石英玻璃管同一横截面上最大、最小直径之差。3.22弯曲度:石英玻璃管在长度方向的平直程度。4产品分类4门分类按生产工艺分以下5类:a.真空常压法管(常压管);b.真空加压法管(加压管);c.电熔二步法

5、管;d.气炼、电熔二步法管(气炼二步法管);e.气炼一步法管(气炼管)。4.2等级石英玻璃管按外观分为优等品(A)、一等品(B)和合格品(C)3个等级。5技术要求5门规格尺寸5.1.1石英玻璃管的规格尺寸范围及外径、壁厚偏差应符合表1、表2的规定5门.2石英玻璃管的标准长度为1OOOMM.表1外径范围.mm外径偏差，%10-50士3.051^70士3.071-90士2.791-100士2.7101-150士2.5151-250士22表2壁厚范圃,mm璧厚偏差，%1.5^-3.0士123.1-4.0士144.1-5.0士15注:1.管子为两

6、端开口亦可为一端开口，封口管其弧度部分不包括在长度内.2.特殊规格或其它规格的管子，由供特双方商定.5.1.3矩形管、钟罩式石英管规格尺寸由供需双方商定。5.2尺寸偏差5.2.1外径偏差、壁厚偏差应符合表1、表2的规定。5.2.2长度:偏差为管长的士1%05.2.3偏壁度:不得大于壁厚偏差的绝对值。5.2.4椭圆度:不得大于外径偏差的绝对值。JC/T597一19955.2.5弯曲度:不得超过管长的3Y-注:管长在1000-以上其弯曲度不得超过管长的2.5yoo.5.3外观指标5.3.1常压管、加压管、电熔二步法气炼二步法管的外观指标应不大

7、于表3的规定。去3一赢子灯义、优等品等品合格品气线密度，条/emo其中长度>5.-的气线.条:230450气线宽度.mm0.20.30.5气线长度,mm203031^-8081^200长气线条数010-60,.m234条/1000..061-120-4560121~200mm678管径580。允许有1条色线不允许不允许管径>80-m允许有2条020^-60mm24麻点061一120m.不允许46个/1000m.0121-200mm6to沟棱手摸感觉不明显晶纹、裂纹、内壁破皮气线不允许注:①长度小于lo-的色线不计.②色线的长度及宽度指标按

8、各等级气线长度、宽度的指标规定.5.3.2气炼管的外观指标应不大于表4的规定。表4~~~~，赢}.$Yc#}CF互生优等品一等品合格品气直径，mm0.30.50.8饱数量，个/cm'4610气