JCT597-2011 半导体用透明石英玻璃管.pdf

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1、ICS81．040．30Q35备案号：34406--2012JC中华人民共和国建材行业标准JC／T597—2011代替JC／T597一1995半导体用透明石英玻璃管Transparentquartzglasstubesforsemiconductor2011-12-20发布2012-07-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布Btl=!}口JC，T597—2011本标准按照GB／TI．1—2009给出的规则起草。本标准代替JC／T597—1995《半导体用透明石英玻璃管》。与JC／T597—199

2、5相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：——修改了范围(见第1章，1995年版的第l章)；——增加了规范性引用文件(见第2章，1997年版的第2章)——删除、修改、增加了部分术语和定义(见第3章，1995年版的第3章)；——取消了原标准中分类方法，修改成按用途分为太阳能级透明石英玻璃管(T级)和电子级透明石英玻璃管(D级)(见4．1，1995年版的4．1和4，2)；——增加了标记(见4．2)；——扩大了规格尺寸并加严了尺寸偏差的要求(见5．1，1995年版的5．1和5．2)：——加严外观质量要求(见

3、5．2，1995年版的5．3)；——修改了杂质元素含量要求(见5．3．1，1995年版的5．4．1)：——修改了热稳定性要求(见5，3．3，．1995年版的5．5．1)：——增加了热变色性要求(见5．3．4)；——修改了抗析晶性要求(见5．3．5，1995年版的5．5．2)：——修改了尺寸偏差、外观质量试验方法(见6．1，1995年版的6．1)：一一修改了尺寸偏差、外观质量抽样方法(见7．2．3，1995年版的7．2．2)；一一修改了附录A、附录B(见附录A和附录B，1995年版的附录A和附录B)。

4、本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC／TC447)归口。本标准主要起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。本标准参加起草单位：连云港市东海县宏伟石英制品有限公司、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。本标准主要起草人：吴洁、杨晓会、刘坚、丁家兴、杨家茂。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：——-GB9657--1988、JC／T597—1995。1范围半导体用透明石英玻璃管JC，r597—-2011本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的术

5、语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃管(以下简称石英玻璃管)。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB／T3284石英玻璃化学成分分析方法GB／T4121石英玻璃热变色性试验方法GB／T5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法GB／T1

6、0701石英玻璃热稳定性试验方法GB／T12442石英玻璃中羟基含量检验方法3术语和定义3．13．23．33．43．53．6下列术语和定义适用于本文件。气泡bubble石英玻璃管壁内的圆形、椭圆形空穴。破皮气泡openbubble暴露在石英玻璃管内外表面的开口气泡。气线airline石英玻璃管壁内或表面平行于管长方向的线状、梭状空穴。破皮气线openairline暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线。气泡群bubbleclusters石英玻璃管壁中，由微小气泡(小于标准中气泡的下限尺寸)密集而成的群集

7、气泡。色线colorlineJC厂r597-_2011石英玻璃管上带有颜色的线条。3．7色斑discoloration石英玻璃管壁上的带有颜色的点。3．8麻点spot石英玻璃管壁上的小斑点。3．9杂质impurity石英玻璃组成中的二氧化硅(si如)以外的组分。3．10生料颗粒batchparticle石英玻璃管中未熔化的石英颗粒。3．11透明颗粒transparentparticle石英玻璃管中的透明石英颗粒。3．12波纹ripple石英玻璃管的内、外壁表面呈现轴向的波浪形凹凸不平。3．13沟棱s

8、triation石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱。3．14揪痕scratch排除石英玻璃管壁上外观缺陷后留下的痕迹。3．15暗疤darkstripe石英玻璃管壁呈现的一种斜状、透明、有明显界面的玻璃态(俗称雪花，破皮和梅花)。3．16炸裂thermalcrack石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或破裂。3．17崩落flakeoff石英玻璃管表面呈贝壳状的破损。3．18晶纹regularmicrocrack石英玻璃管中呈“人”字或“一”字形的微小裂纹。3