mask介绍与曝光机原理

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1、可编辑版MASK介绍与曝光机原理Mask说明：将mask上的图形通过曝光（UV光），复制到玻璃基板上，通过显影等方式，形成CF图形。mask样图：Word完美格式可编辑版Mask规格一、mask规格1.适用范围本规格书适用于清溢精密光电(深圳)有限公司为湖南普照爱伯乐显示器件有限公司提供的苏打玻璃铬版。Word完美格式可编辑版2.铬版规格铬版原材料Word完美格式可编辑版项目规格材质苏打玻璃玻璃外形尺寸**X**mm玻璃基版厚度4.8±0.2mm铬膜厚度1000ű100Å反射率10.0±5％(at436nm)铬膜光学密度3.0±0.3(at450nm)尺寸精度项目规格产品区分CF外形

2、尺寸精度±1mm图形居中精度±1mm最小线缝范围W≥5um线缝精度±1um总长精度±2um套合精度±2um说明：总长、套合精度清溢的测量温度为21±0.1℃本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。Word完美格式可编辑版-p3/p12DocumentNo:Rev.：Word完美格式可编辑版清溢精密光电[深圳]有限公司QINGYIPRECISIONMASKMAKING[SHENZHEN]CO.,LTD尺寸精度量测方式项目规格线缝精度测量贵司整版图形中最小的线(缝)宽整版测量图形中靠四个角的单粒和图形中

3、间位置单粒(共五个单粒)，每个单粒选取两根线(缝)测量(共10条),如图一所示①②E③④C⑤⑥DB⑦⑧⑨⑩F产品型号A图一*若贵司图形中最小线缝超越报价评审的最小线缝范围和线缝精度，或贵司要求测量其它位置，应事先通知协商.外形尺寸精度测量铬版上两长边之间的距离及两短边之间的距离并计算与设计值的偏差，即图一中A、B的测量值与设计值的偏差.*若贵司需指定测量位置，应事先通知协商图形居中精度测量铬版上图形四周边缘与铬版边缘的距离并计算与设计值的偏差，即图一中C、D、E、F的测量值与设计值的偏差*若贵司需指定测量位置，应事先通知协商本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不

4、准透露或使用本资料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。-p4/p12DocumentNo:Rev.：Word完美格式可编辑版清溢精密光电[深圳]有限公司QINGYIPRECISIONMASKMAKING[SHENZHEN]CO.,LTD总长精度测量MASK图形中长边及短边指定标记之间的距离并计算与设计值的偏差；一般选取靠近图形边缘的四个十字标记，测量之间的距离。如图二所示P1、P2、P3、P4四个标记之间的距离：P4P3P1P2图二*普通等级的铬版出货时不测量总长，如贵司需测量，或贵司需指定测量标记，应事先通知协商套合精度*测量MASK图形中长边及短边指定标记之间的距离并计算

5、与同一套版中其它MASK的偏差；一般选取靠近图形边缘的四个十字标记，测量之间的距离。如图二中P1、P2、P3、P4四个标记之间的距离：*普通等级的铬版出货时不测量套合，如贵司需测量，或贵司需指定测量标记，应事先通知协商本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。-p5/p12DocumentNo:Rev.：Word完美格式可编辑版3.缺陷规格3-1缺陷区域定义清溢精密光电[深圳]有限公司QINGYIPRECISIONMASKMAKING[SHENZHEN]CO.,LTDWord完美格式可编辑版区域定义

6、A区图形关键显示区域B区对位标记、引线区等非关键显示图形C区填充块、单粒中间、图形旁边等非图形区域D区图形区边缘距铬版边缘的区域E区产品标识z若贵司对缺陷区域定义有差异，需事先通知协商。示意图：本资料为清溢精密光电（深圳）有限公司专有之财产，未经书面许可，不准透露或使用本资料，并不准复印、复制或转变为任何其它形式资料使用。-p6/p12DocumentNo:Rev.：Word完美格式可编辑版3-2各区域缺陷规格清溢精密光电[深圳]有限公司QINGYIPRECISIONMASKMAKING[SHENZHEN]CO.,LTDWord完美格式可编辑版项目规格针孔A区：W≤5um(且≤线宽1/

7、3)XB区：W≤10um(且≤线宽1/3)YC区：目视看不到即可D区：无定义E区：无定义W＝（X+Y）/2凹陷（白凸）A区：W≤5um(且≤线宽1/3)B区：W≤10um(且≤线宽1/3)XC区：目视看不到即可YD区：无定义E区：无定义W＝（X+Y）/2毛刺（黑凸）A区：W≤5um(且≤线宽1/3)XB区：W≤10um(且≤线宽1/3)YC区：目视看不到即可D区：无定义E区：无定义W＝（X+Y）/2Word完美格式可编辑版黑点（铬残