半导体行业mes的-研究与应用

《半导体行业mes的-研究与应用》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、上海交通大学工程硕士学位论文第一章绪论第一章绪论1.1研究背景和问题描述我国是制造业大国，但却不是制造业强国，制造业信息化程度不高是重要的原因之一。近二十年来，国外的制造业信息化发展很快，逐步形成了制造业信息化的各种理论以及相关理论标准，制造执行系统MES(ManufacturingExecutionSystem)也不例外。然而，MES进入我国的历史虽然不短，但我们应用以及了解[1]MES的程度并不高。[2]MES是制造工业综合自动化的核心技术，其主要功能是负责生产管理和调度执行。在集成诸如质量控制、文档管理、生产调度等功能的基础上，

2、MES为控制包括物料、设备、人员、流程指令和设施在内的所有工厂资源，提供了一个统一的平台，对提高企业生产效率、提高产品质量、降低消耗方面具有重要的作用。“十五”期间，国家863项目研究，将MES作为重点研究课题。2005年7[3]月在北京召开了“2005中国制造业信息化MES产业技术论坛”会，863计划现代集成制造技术系统专家组副组长储健教授指出：中国的整个工业结构不完善，导致了大多数的企业在管理等方面都是粗放型的，现在我国的能源紧缺，如果我们在节能和环保方面不发挥作用，这就会大大影响我国工业的可持续发展，现在，如果大家稍微关心一下我

3、国的能源形式，就会发现这是一件迫在眉睫的事情，而我们的MES在节能降耗方面无疑是最能发挥作用的。当前，我国MES开发的产品主要是软件供应商、企业自主开发、企业与科研院所共同开发几种主要的研究开发途径，行业的需求对于国产MES有着很大[4]的促进作。目前，MES技术已广泛应用于半导体、电子、航空、汽车、石化、冶金、烟草等行业，然而迄今为止，还没有一套MES产品能够适应于整个制造业领域，MES系统带着明显的行业特性，使得相同的MES系统不能完全照搬到另一个行业来使用，即使为相同的行业，由于管理模式或流程上的区别，适合一家公司的MES系统，

4、也不一定完全适用于另外一家。因此，我国MES系统的定制化程度相当高，有时即使是定制，也会由于企业的发展而逐步出现不相适应的状况。作为半导体行业的制造公司，我们的生产车间以六寸芯片制造业为主，在没有实施MES系统之前，所有的信息除了利用办公软件进行简单的数据记录和人工处理之外，没有任何的车间信息系统支持。生产一线人员整天忙于统计生产信第1页上海交通大学工程硕士学位论文第一章绪论息，上层管理人员无法及时了解生产线数据，不仅管理和生产现场的信息沟通出现了断层，而且当时进行财务结算时，统计生产成本的速度非常缓慢。在这种情形之下，MES的需求变

5、的尤为迫切，管理人员经过研究，最终决定采用半导体MES系统，来支持生产线进行的各种生产活动，为管理层制定相应的管理决策提供帮助。在决定采用哪种方式引入MES系统之前，管理层人员经过多方评估，发现虽然国外的一些半导体MES产品已经相当成熟，但对于国内刚刚起步的中型企业来说，存在以下困难：1、由于是成熟的MES产品，价格非常昂贵；2、没有Local人员的技术支持，多数产品以代理的方式交由第三方厂商实施，遇到不适应企业流程的问题，无法灵活地实现功能客户化。经过比较，最终决定选用本地开发商的软件平台，作为项目实施人员，我们参与到项目当中，与用

6、户沟通，收集需求并针对需求设计开发，进行功能实现。本文将首先研究MES技术的相关知识，然后在结合我们所采用的“基于开发商MES平台客户订制MES系统”解决方案的基础上，讨论半导体MES系统所实现的功能和有待解决的问题，通过我们将车间用户的需求转化为系统应用这一过程，展现我们MES系统的技术架构，功能实现和实施过程。最后总结采用这种方式实施MES的优势及借鉴意义，以探索更适于半导体流程需求的MES解决方案。1.2MES技术的现状从20世纪70年代后半期开始,出现了解决个别问题的单一功能的MES系统[7]。80年代中期，产生了MES原型、

7、即传统的MES(TraditionalMES,T-MES)。主要是POP(生产现场管理，PointofProduction)和SFC(车间级控制系统，ShopFloorControl)。到90年代，MES发展为I-MES(集成MES)。它将模块化应用组件技术应用于MES的系统开发，是前两类MES系统的结合：既具有专用MES系统的特点，即I-MES中的部分功能作为可重用组件单独销售；又具有集成化MES的特点，即能实现上下两层之间的集成。90年代中期，又提出了MES标准化和功能组件化、模块化的思路。这时，许多MES软件实现了组件化，也方便

8、了集成和整合，这样用户根据需要就可以灵活快速地构建自己的MES。MESA(ManufacturingExecutionSystemAssociationInternational,制造执行统[17]国际联盟组织)，在19