氯氢硅安全生产培训手册

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1、三氯氢硅安全生产培训手册协成硅业三氯氢硅生产简述三氯氢硅的生产大多采用沸腾氯化法，主要包括氯化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅精制等工序。氯气和氢气在氯化氢合成炉内通过燃烧反应生成氯化氢，氯化氢气体经空冷、水冷、深冷和酸雾捕集脱水后进人氯化氢缓冲罐，然后送三氯氢硅合成炉。硅粉经过干燥后加入到三氯氢硅合成炉，与氯化氢在320℃左右的高温下反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。生成的粗三氯氢硅气体经沉降器，过旋风分离和除尘过滤后，进入列管冷凝器进行水冷和深冷，不凝气通过压缩机加压冷凝，尾气送入洗涤塔，处理后达标排放，冷凝液送入精馏塔分离提纯，通常采用多塔连续提纯方法，出来高纯三

2、氯氢硅产品送入还原工。12一、主要原材料规格及物化性质1、氢气（H2）分子量:2.016标况下的密度：0.0899kg/m3液氢的密度：0.070g/cm3气液容积比(15℃，100kPa)：974L/L熔点：-259.14沸点：-252.4℃三相点：-254.4℃　　比热熔(标况)：5.987m3/kg氢气在通常状况下为无色、无气味的气体。是最轻的气体(密度最小)，微溶于水(0℃时，每体积水溶解0.0214体积氢气)。氢气有可燃性，它在空气中燃烧生成水并放出大量的热，H2在的爆炸极限为4.1～75％(体积百分比)，H2和O2的爆炸极限为5.0～95.5%，H2和

3、Cl2的爆炸极限为12.5～95.0%。氢气的规格要求：氢含量≥99.0％，含水≤0.06%。2、氯气（Cl2）氯气分子量：70.906标准状况下的比重：3.214kg/m3,相对密度：(水=1)1.47(空气=1)2.48；熔点：-101℃沸点：-34.5℃。蒸汽压：506.62kPa(10.3℃)Cl2和H2的爆炸范围为：(氯中含氢）5.0～87.5%。常温常压下，Cl2是一种黄绿色气体，具有独特的刺鼻臭味，有剧毒。常温时压缩至0.8～1.2MPa或常压下冷却到-35℃～-40℃即成黄绿色液体。人体吸入氯气轻者刺激粘膜和呼吸道，重者可引起肺水肿、支气管炎、严重

4、的甚至死亡。Cl2易溶于水、碱液。主要用于漂白，制造氯化合物、盐酸、聚氯乙烯等。危险标记6(有毒气体)。氯气规格要求：本装置采用液氯，液氯符合GB/T5138－96标准要求。12氯含量≥99.6%，水份含量≤0.04%。3、氯化氢（HCL）氯化氢合成方程式：Cl2+H2→2HCl氯化氢分子量：36.461标准状态下密度：1.00045克/升熔点：-114.80℃沸点：-84.9℃无色有刺激性气味，在空气中发白雾，溶于乙醇、乙醚，极易溶于水。氯化氢在干燥状态下几乎不与金属反应，但含水时腐蚀性很强，与金属化合生成氯化物。4、硅粉（Si）分子量：28密度：2.33g/c

5、m3熔点：1410℃沸点：2355℃，水中溶解度：不溶于水。硅粉的规格要求：（符合GB/T2881-91标准要求）Si≥98.5%，Fe≤0.5%，Al≤0.3%，Ca≤0.2%，粒度：20～120目。5、三氯氢硅（HSiCl3）反应方程式为：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；分子量：135.45相对密度1.34kg/L，熔点：-128.2℃沸点：31.8℃。燃点：-27.8℃自燃点104.4℃。三氯氢硅溶于CS2、CCl4、Cl+Cl3、苯,遇水分解；易燃、在空气中能自燃，与空气的爆炸极限为20.2～33.2%。有刺激性气味；有毒，吸入三氯氢硅气体损

6、伤呼吸道。6、四氯化硅（SiCl4）反应方程式为：3SiCl4+2N2+6H2===Si3N4+12HCl分子量：169.90相对密度：1.483kg/L12熔点：-70℃沸点：57.57℃无色透明发烟液体具有难闻的窒息性气味，溅上皮肤会坏死。在湿空气中水释放出HCl气体，遇氨气及胺剧烈反应生成氮化硅。二、工艺过程简述1、氢气送入本装置，经阻火器、缓冲罐后和送来的干燥氯气在氯化氢合成炉内反应，生成氯化氢气体，经冷却和-35℃冷冻脱水，再经过四氯化硅脱水和干燥预热的硅粉在流化床进行流态化反应，反应合成气经沉降器除尘，旋风分离除尘和硅尘过滤器除尘后再经空冷器去除杂质氯

7、化物，在低温下冷凝的三氯氢硅粗品经计量化验后，放入储罐。尾气经回收系统加压回收三氯氢硅粗料。2、三氯氢硅合成产生合成尾气经回收冷凝器回收后，氢气再经回收捕集器送入回收缓冲罐经自动调节阀按要求送入HCI合成炉(注：尾气主要是大量氢气及少量氯硅烷)，沉降器和硅尘收集器及硅尘过滤器的硅尘吸入收集器，大部份经水洗塔处理合格后流入下水。氯化氢干燥生成的少量盐酸可作产品出售。3、粗三氯氢硅用泵打入储罐，供精馏用，经精馏提纯，检验合格后送入还原高纯三氯氢硅储罐,四氯化硅检验合格后压入储罐氢化及外买出厂。4、岗位任务：公司电解氢气站送来氢气经本岗位氢气缓冲罐和阻火器，同公司液氯气

8、化岗位送来