复习讨论题-功能薄膜的研制

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1、复习讨论题一.简答题(名词解释》等离子体气体放电激发潘宁效应电离消电离迁移扩散气;体的击穿电压电子碰撞电离-ex电离过程正离子碰撞电离-(3电离过程Y电离过程阴极二次电子发射帕邢定律(Paschenlaw)热偶规电离规机械泵扩散泵二.论述题1.针对直流低气压放电现象观察实验，试简要说明下图低气压放电区的物理意义.阳极暗区阿斯顿喑区阴极暗区法拉第暗区明极明极辉光区负极辉光区、阳极止电柱阳极辉光区2.针对直流辉光放电等离子体参数的测量实验，试简要叙述静电单探针法的工作原理.图9.1静电探针工作原理示意图ra9-2靜aiftHi伏安特件曲浅(b)2.针对直流辉光放电等离子体参数的测量实验，

2、请简要叙述：（1）静电双探针法的工作原理；（2）当双探针完全相同时，利用实验测得双探针的特性曲线，根据特性曲线在工作电流ID=0处的斜率，就可由下式求得电子温度dVD=0el/•02kTeI可移动真空密封玻璃绝缘套■:.双.密封绝缘套筒图9.3双探针工作原理图可调高压源3.针对直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量实验，如下图示，试冋答以下问题：阴极与阳极显著的热效应差别的原因是什么？实验中如何将这些热量及时导出？

3、

4、阴极11阳极2.针对直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量实验,如上题4所示，试简述实验中电流测量应注意的问题.3.针对直流溅射法制备薄膜实验，试简述其实验原理.