电子论文-基于sigma—delta技术的差分电容检测电路设计

《电子论文-基于sigma—delta技术的差分电容检测电路设计》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、电子论文-基于Sigma—Delta技术的差分电容检测电路设计本文由saiwei2080贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。总第４４卷第５３期　０２ｏｏ７年第１期　１电测与仪表　ＥｌｃｒｃｌＭｅｓｅｅｔ＆Ｉｉｌｎｔｆｏ　ｅｔｉａ　ａｕｒｍｎ￣－ｎｅａｎｕｌＶＯ．４Ｎｏ．０　Ｉ　５３４ＮＯ．ｏ７ｖ２ｏ　基于Ｓｇ—ｅａ技术的差分电容检测电路设计木ｉｍａＤｌｔ　万明亮，卫平，晓刚，张黄陈文元　（海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米／米加工　上纳国防实验室．上海２０３）０００　摘要：口电

2、路是悬浮转子微陀螺研制中的关键技术之一。本文对静电悬浮转子微陀螺　接的差分电容结构建立其简化数学模型，并结合Ｓｇ—ｅｔ技术的优点提出了一种新颖　ｉｍａＤｌａ的闭环检测电路。检测电路能够直接输出数字信号，该系统稳定性好，对陀螺失效具有自　检特性并且能够有效避免陀螺的锁住。与通常采用的调制解调方法相比，检测电路大　该大节省了器件，因此非常适用于对微陀螺原型进行测试评估。对该检测电路的仿真结果　表明，其灵敏度为２／动态范围约为１。Ｖｇ，ｇ　关键词：ｉａＤｌ；ＭＳ静电悬浮；陀螺；Ｓｇ—ｅａＭＥ；ｍｔ微闭环检测　中图分类号：Ｍ９４２Ｔ３．　文献标识码：　文章编号：０

3、１１９（０７１－０９０　Ｂ１０—３０２０）１０５—３Ｄｉｅｅｔｌｃｐｃｔｎｅｄｔｃｉｎｃｒｕｔｄｓｇ　ａｅ　ｎｔｅｆｒｎｉ　ａａｉｃ　ｅｅｔｏ　ｉｃｉ　ｅｉｎｂｓｄｏ　ｈ　ａａｓｇａｄｌ　ｅｈｏｏｙｉｍ－ｅｔｔｃｎｌｇ　ａＷＡＮＭｉｇｌｎ，ＨＡＮＧ　ｅ—ｉｇＨＵ　ｎ—ｉｇＺａＷｉｐｎ，ＡＮＧ　ａ—ａｇＣＸｉｏｇｎ，ＨＥＷｅ—ｕｎＮ　ｎｙａ　（ｅ　ａ　ｆｈｎＦｌ　ｎ　ｃｏＦｂｉａｏ　ｅｈＯｏｙＫｙＬｂｏ　ｔｔＤｆｎｅＭｉｏＮｎ　ａｒａｉｎＫｙＬｂｏ　ｉ　ｉａｄＭｉ　ａｒｔｎＴｃｎｌｇ，ｅ　ａ　ｆａ　ｅｓ　ｃ—ａｏＦｂｉｔ，ＴｍｒｃｉＳｅｅｒｃｏ　Ｒｓａｃ　ｎ

4、ｔｕｅｏ　ｃｏＮｎ　ｅｈｏｏ，ｈｎｈｉｉｔｇＵｉｒｔＳａｇａ　０００Ｃｉａ　ｅｅｒｈＩｓｔｔｆｒ—ａｏＴｃｎｌｉ　ＭｉｙｇＳａｇａＪｏｏ　ｎｖｓｙｈｎｈｉ０３，ｈｎ）　ａｎｅｉ，２ＡｂｔａｔＴｅｉｔｒｃ　ｉｃｉｉｏｅｏ　ｈ　ｅ　ｅｈｏｏ　ｎｔｅｄｓｇ　ｆｅｅｔｏｔｔａｌ　ｓｒｃ：　ｎｅｆｅｃｒｕｔｓｎ　ｆｔｅｋｙｔｃｎｌｇｉ　ｈ　ｅｉｎｏ　ｌｃｒｓｉｌｙｈａ　　ｙａｃｓｓｅｄｄｇｒｓｏｅ．　ｈｓｐｐｒａｓｍｐｉｅ　ｔｅｔ　ｄｌｏ　ｈ　ｉｅｅｔｌａａｉｕｐｎｅ　ｏｃｐＩｔｉａｅ　　ｉｌｄｍａｈｍａｉｍｏｅ　ｒｔｅｄｆｒｎｉ　ｐｃ—ｙｎ　ｉｆｃｆｆａｃ　ｔｅｓ

5、ｒｃｕｅｏ　ｅｅｅｔｓａｉａｌ　ｕｐｎｅ　ｒｓｏｅｉ　ｒｓｎｅ，ｎ　ｏｉｅ　ｈ　ｄ　ｉ　ｔｔｒ　ｆｈ　ｌｃｒｔｔｌｙｓｓｅｄｄｇｏｃｐ　ｓｐｅｅｔｄａｄｃｍｂｎｓｔｅａ—ｖｕｔｏｃｙｖｎａｅｏ　ｅｓｇａｄｌ　ｄｌｔｎａｎｖｌｃｏｅｌｏ　ｅｅｔｎｃｒｕｔｉｄｓｇｅ．ｉａｔｇ　ｆｔ　ｉｈｍ—ｅｔｍｏｕａｉ，　ｏｅ　ｌｓ—ｏｐｄｔｃｉ　ｉｉｓｅｉｎｄＴｓａｏｏｃ　　ｈ　ｄｔｃｉｎｃｒｕｔｃｕｄｄｒｃ　ｕｐｔｄｇｔ　ｉｎ，ａ　　ｎｅｅｔｓｌ－ｅｔｆａｕｅａｄｃｕｄｅｅｔ　ｉｉｏｌ　ｉｔｏｔｕ　ｉｉｓｇａｈｓａｉｈｒｎ　ｅｆｔｓ　ｅｔｒ　　ｏｌ　ｏｃ　ｅｌａｌｎｐｅ

6、ｅｔｔｅｌｔｈｕ　ｆｔｅｍｉｒ　ｒｓｏｅｒｖｎ　ｈ　ａｃ　ｐｏ　　ｃｏｇｏｃｐ．Ｃｏａｅ　ｏｔｅｃｍｍｏ　ｓｄｈｙｍｐｒｄｔ　ｈ　ｏｎｕｅ　ｍｏｕａｉｎｄｌｔ　ｏｍｅｈｄｔｅｄｔｃｉｎｃｒｕｔｉｌｗｉ　ｏｏｅｔｃｕｔｈｃ　ｋｓｉｐｒｃｌｌ　ｕｔｂｅｔｏ，　ｅｅｔ　ｉｉｓｏ　ｎｃｍｐｎｎ　ｏｎ，ｗｉｈｍａｅ　ｔａｔｕａｙｓｉｌ　ｈｏｃ　　　ｉｒａｏ　ｒｏｙｅａａｉ．ｉｌｔ　ｅｕｔｈｗｓｔｔｔ　ｅｅｔ　ｉｉａ　　ｅｓｔｉｏ　ｆｒｐｔｔｐ　ｖｕｔｎＳｍｕａｉｎｒｓｌｓｏ　ａ　ｅｄｔｃｉｎｃｒｕｔｈｓａｓｎｉｖｔ　ｆｏｅｌｏｏ　ｈｈｏｃ　ｉｙ２ｇａｄａｄｎｍｉ　ａ

7、ｕｅｎ　ａｇ　ｆａｐｏｉｔｌ　　．Ｖ／　ｎ　　ｙａｃｍｅｓｒｍｅｔｎｅｏ　ｐｒｘｍａｅｙｌ　ｒｇＫｅ　ｗｏｄＳｇａ—ｌ；ＭＳ；ｌｃｒｓａｉａｌ　ｕｐｎｅｍｉｒ　ｙｏｃｐ；ｌｓｄ—ｏｐｙｒｓ：ｉｍＤｅｔＭＥａｅｅｔｔｔｌｓｓｅｄｄ；ｃｏｇｒｓｏｅｃｏｅｌｏ　ｏｃｙｄｅｔｏ　ｅｔＣｉｎ０引　言　够感知外界的角速度以及加速度．并将其转换为转子　的微小位移。通过转子与定子间的四组差分电容，该　结构能够同时测量两轴角速度和三轴线加速度，有　具广阔的应用前景和较大的发展潜力。　常用的差分电容检测电路［包括调制、大、４、习放滤　采用静电驱动力的悬浮转子式微陀螺㈣具有低　

8、功耗、高精度、低温漂等特点，在微机器人、卫星、惯性　导弹等领域具有