ni-cu膜的制备及光学性质的研究

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1、XXX理学院2011届本科毕业论文（设计）2011届　分类号:　　　　　　　　　　　　　　　　　单位代码:XXX理学院毕业论文（设计）Ni-cu膜的制备及光学性质的研究　　　　　　姓名　　　　　　　　　　　　　　　学号　　　　　　　　　　年级　　　　　　　　　　　专业　　　　物理学　　　　　　　系　（院）　　　理学院　　　　　　　指导教师　2011年5月4日XXX理学院2011届本科毕业论文（设计）摘要椭偏测量的基本原理是起偏器产生的线偏振光经取向一定的1/4波片后成为特殊的椭圆偏振光，把它投射到待测样品表面反射

2、出来的将是线偏振光。根据偏振光在反射前后的状态变化（包括振幅和相位的变化），便可测定样品表面的许多光学特性。关键词：椭偏法；Ni-Cu膜；真空镀膜XXX理学院2011届本科毕业论文（设计）ABSTRACTThemeasurementofthebasicprincipleisapolarizationoflightthroughtheorientationofthe1/4afterwaveofaparticularsphereofthepolarizationoflight,andputitontothesurfa

3、ceofthetestsamplesofreflectionslinewillbepolarization.Accordingtothepolarizationoflightatthebackofthestatechanges(includingamplitudeandphasechange),itcandeterminethesamples.Keywords：Partialmethod；MembraneofNi-Cu；VacuumcoatingXXX理学院2011届本科毕业论文（设计）目录1引言……………………

4、…………………………………………………………51.1真空镀膜技术……………………………………………………………..…51.1.1真空镀膜技术…………………………………………………..………51.1.2常用的真空镀膜技术简介………………………………………….51.1.3真空蒸发镀膜技术中真空度对蒸发的影响……………………...51.1.4真空蒸发镀膜中应注意的几个问题…………………………….……..71.2薄膜材料……………………………………………………………………....71.2.1薄膜材料发展………………………

5、………………………….………..71.2.2薄膜的应用…………………………………………………………..81.3椭偏法……………………………………………………………………...81.3.1椭偏法的简单介绍…………………………………………………...81.3.2椭偏法的基本原理……………………………………………..…….81.3.3椭偏法的发展与应用…………………………………………………92实验……………………………………………………………………..………92.1实验原理……………………………………………………………

6、...…….92.1.1椭偏法基本原理………………………………………………...…….92.1.2光度法的基本理论…………………………………………………..112.2实验装置…………………………………………………………………..132.3薄膜样品制备过程………………………………………………………..132.4实验内容…………………………………………………………………..142.5实验结果与分析…………………………………………………………..143小结………………………………………………………………………..…..

7、17参考文献……………………………………………………………………………………….18致谢……………………………………………………………………………….19XXX理学院2011届本科毕业论文（设计）1引言1.1真空镀膜技术1.1.1真空镀膜技术早在一个多世纪以前，人们从辉光放电管壁上就观察到了溅射的金属薄膜。根据这一现象，后来逐步发展起真空镀膜的方法。真空镀膜技术，在现代工业和科学方面有着广泛的应用。例如，光学仪器上的各种反射膜，增透膜，滤光片等，都是真空镀膜的产物；电子器件中用的薄膜电阻，特别是平面型晶体管和超大

8、规模集成电路也有赖于薄膜技术来制造；硬质保护膜可使各种经常磨损的器件表面硬化，大大增强耐磨程度；磁性薄膜具有记忆功能，在电子计算机中用作存储记录介质而占有重要地位……。因此，真空镀膜技术目前正在向各个重要的科学领域中延伸，引起了人们广泛的注意[1]。1.1.2常用的真空镀膜技术简介真空镀膜中常用的方法是真空蒸发和离子溅射。真空蒸发镀膜是在一定真空度下，把要蒸发的材料加热到