单晶作业指导书

《单晶作业指导书》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、编号：版本：拉晶作业指导书受控状态：批准审核编制日期0期日期起草：审核：批准/日期：V副基抽空冋熔取出V放肩转肩等径收尾冷却工序名称真空泵的清及泵汕的更换适用范围试用于真空泵的清扫及泵汕更换作业作业顺序3/301、准备好专用工具及纸山置于真空泵位置；一、放油2、关闭主泵球阀；3、将废油桶置于真空泵放油口下方，打开上腔放油开关，取下泵尾气管；4、堵严尾气口，缓慢打开下腔放汕阀使Z缓慢进气进行快慢放汕，废汕倒入指定废油桶；5、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关；6、在控制柜上

2、挂上“禁止操作”牌；注意事项及原山：1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气；2、放汕时应靠下腔放汕阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过人，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房；3、放完油后，切记关闭上、下腔的放油阀，防止漏油；4、处理废油时注意泵房卫生；5、一定要断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害；6、出现异常立刻处理并报告班长；1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置；二、清泵2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的汕污；3、70泵下腔滤汕网要用汽汕进行清洗干净

3、；4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；注意事项及原由1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及汕封而漏汕；2、70泵切记安装滤网，喷汕管对准观察窗利于查看其空泵的工作状态；3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它界物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死；4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶；5、出现界常立刻处理，并报告班长或车间主管；三、注油1、打开真空泵注汕口；2、将加油漏斗放入真空泵注油口；3、川吸油枪从油桶给油壶开始注油到2/3,用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注汕；4、观察真空泵汕位至汕位观察

4、窗1/2位直；5、取下漏斗，移至适当位置以防漏汕，打开泵侧的汕路管道阀门向下腔放汕；6、装上尾气管，盖好注油口；7、开启真空泵工作5minjTi关闭泵侧的汕路管道阀门，察看汕位是否处于汕位观察窗1/3-1/2位置。若低于下限重复以上操作；注意事项及原由1、加汕漏斗保持清洁，防止异物进入泵腔；2、注油时注意注油管掉落月•不要超过上限油位以防喷油；3、切记安装好尾气管及注油口，以防开泵时喷油或油气污染泵房；4、注意清理真空泵及周围卫生；5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；6、泵汕加好后，关闭真空泵

5、控制按钮，取走“禁止操作”牌，做好记录；丄序名称真空泵的清理及泵油的更换适用范围拉晶过程中单晶的収岀作业顺序4/301、准备好线手套、耐高温手套、纸山；一、作业准备2、准备好钢丝钳、取单晶的小车;3、用沾酒精的纸山将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；2、取单晶询一定要将炉体彻底擦拭-•遍，防止交义污染；3、所有控制接线及开关在彻底清扫炉体吋均不得碰断或碰坏；二、单晶取出1、待单晶冷却5小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至

6、副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行热检漏并相应记录；3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氮气阀门，流最为20升/分，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；4、把安全接盘移到副室底部处，缓慢向左移动副室至90度；5、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；6、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；7、确认单晶完全

7、放入小车内后，戴上手套，左手抓紧重锤，右手用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重僦，将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置；8、将单晶放入中转区，待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒和牛产作业流程单上，然后进入《石墨件取出》工序；注意事项及原由1、升降和移动晶体要小心，防止晶体受到碰装，致使单晶掉下来，而报废；2、泄漏率＜4pa/10min为正常,否则当班人员报告班长或车间主管,并做相应记录；3、升副室前，必须确认炉内压力到大气压，隔离阀必须盖住，防止单品坠落，应缓慢移动副室，防

8、止单晶与副室内壁碰撞，必须将安全接盘移金炉筒口处，防止单晶受到撞击而坠落；4、取单晶的小车应与单晶垂宜对齐，防止单晶突然脱落能够掉进小车内不至于摔坏单晶；5、剪断籽品后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。（重锤温度高不可以用手直接接触）；6、取籽晶时应慎重作业，防止损坏籽晶；7、单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号、批号、料号；工序名称石墨件的取出适用范围适用于每炉石墨件及堀底硅料的収出及大清时整个热场的取出作业顺序5/30一、取出导流筒及保温盖