蝶翼式微加速度计优化设计

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1、分类号TP212.1学号14030030ＵＤＣ000密级公开工学硕士学位论文蝶翼式微加速度计优化设计硕士生姓名夏德伟学科专业机械工程研究方向微机电系统与微纳器件指导教师肖定邦副教授国防科学技术大学研究生院二〇一六年十一月国防科学技术大学研究生院硕士学位论文DesignOptimizationofButterflyMicro-accelerometerCandidate：XiaDeweiAdvisor：AssociateProf.XiaoDingbangAdissertationSubmittedinpartialfulfillmentofthe

2、requirementsforthedegreeofMasterof（Engineering）in（DisciplineTitle）GraduateSchoolofNationalUniversityofDefenseTechnologyChangsha，Hunan，P.R.ChinaNovember，2016国防科学技术大学研究生院硕士学位论文国防科学技术大学研究生院硕士学位论文国防科学技术大学研究生院硕士学位论文国防科学技术大学研究生院硕士学位论文目录摘要...........................................

3、......................................................................iABSTRACT........................................................................................................iii第一章绪论....................................................................................

4、..................11.1课题的研究背景与意义.................................................................................11.2微加速度计的分类.........................................................................................11.3扭摆式微加速度计研究现状.............................................

5、............................31.3.1国外研究现状........................................................................................31.3.2国内研究现状........................................................................................71.4蝶翼式微加速度计的提出及前期研究...........................

6、..............................91.5本文主要工作内容.......................................................................................11第二章蝶翼式微加速度计结构优化设计.........................................................132.1蝶翼式微加速度计工作原理.....................................................

7、..................132.1.1加速度计基本原理..............................................................................132.1.2蝶翼式微加速度计总体结构..............................................................142.1.3蝶翼式加速度计工作原理.................................................................

8、.142.2蝶翼式微加速度计结构优化.........................................................