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《基于ansys悬臂梁式微电子加速度计实体模型设计》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、学士学位论文摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性的结构。本论文主要针对一种典型MEMS器件（悬臂梁式微电子加速度计）建立其系统动力学模型，分析其动力学特性。首先对微机电系统作了简要概述，介绍了其定义，理论基础，器件分类，发展历程及其在各方面的应用。其次简要分析了一般微电子加速度计的工作原理，以叉指式微电子加速度计为例分析其工作原理，检测系统及静电反馈系统。
2、并介绍了微电子加速度计的应用和发展趋势。最后重点介绍了有限元的发展和ANSYS软件，并以其为基础建立了悬臂梁式微电子加速度计的实体模型，采用有限元分析软件ANSYS对其进行模态分析。通过对MEMS器件系统动力学模型的建立与分析，加深了对影响器件性能各因素的了解，为今后微器件的设计制造提供了理论参考。关键词MEMS；微电子加速计；动力学分析；ANSYS-I-学士学位论文AbstractMicroElectro-MechanicalSystem,asanewlydevelopedsubject,isthestudyoffocalpointofthefutureworldsc
3、iencewithaverybroadapplicationforeground.Inrecentlyyears,Itismoreandmorevaluedbytheinternationalcommunity.Micro-electroaccelerometerisanimportantapplicationrealmofMEMStechnique.ThispaperaimstoestablishtheSystemDynamicsmodelofatypicalMEMS’part:cantilevermicro-electroacclerometer,andanalyz
4、esthedynamicfeatures.Firstly,thispapermadetoMEMSabriefsummary,andintroduceditsdefinition,theoriesfoundation,sparepartclassification,developmentprocessanditsapplicationineverynoodles.TohaveafirststepunderstandingtotheMEMS.Secondly,byanalyzingtheworkingprincipleofcommonbriefly,thispaperana
5、lyzestheworkingprincipleoftheinterdigitalmicro-electroaccelerometerasanexample,andcheckonthesystemandthestaticfeedbacksystem.Thenintroducedtheapplicationanddevelopmenttrendofmicro-electroacclerometer.Finally,themainintroductionistheANSYSsoftwareanditsdevelopment.Thenthephysicalmodelofcan
6、tilevermicro-electroaccelerometerisestablished.WiththeanalysisofmodalbyANSYS.TheestablishmentandanalysisofMEMSsystemdynamicmodel,whichfurtherstheunderstandingofalltheelementsconcerningthefunctioningparts,providestheoreticalreferenceforfuturedesign.Keywords MEMS;Micro-electroAccelerometer
7、;DynamicsAnalysis;ANSYS不要删除行尾的分节符，此行不会被打印-I-学士学位论文目录摘要IAbstractII第1章绪论11.1微机电系统（MEMS）概述11.2微机电系统（MEMS）的发展趋势21.3本论文的主要工作3第2章微机电系统（MEMS）42.1微机电系统（MEMS）的理论基础42.2微机电系统（MEMS）器件的类型及其功能42.3微机电系统（MEMS）的应用5第3章微电子加速度计73.1微电子加速度计工作原理73.1.1叉指式微加速度计工作原理83.2微加速度计的应用与发展趋势123.2.1微加速度计的应用
