三轴电容式微加速度计接口asic设计

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1、位代：５类号：誦２．溫品１００３資子ＩＩ可－密级：公开冬化义令义來，ｙｙＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｊｊ：ｙｇｙ硕ｉ学位论文Ｍ乂ＳＴＥＲＤＥＧＲＥＥＴＨＥＳＩＳ论文题Ｈ：Ｈ轴电容式微加速度计接口ＡＳＩＣ设计学位类别：学历硕±微电子学与固体巧学作者姓名：李新导师姓名：许高斌觀完成时间：２０１５年３月、：．单位代码！１０３５９：公巧巧级学号：２０１２１１１００３分类号：ＴＮ４０２令化义令义老ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅ

2、ｃｈｎｏｌｏｙｇｙ硕±学位论文，ＭＡＳＴＥＲＳＤ巧ＳＥＲＴＡＴＩＯＮ论文题目：兰轴电容式微加速度计接口ＡＳＩＣ设计学位类别：学历硕女专业名務：微电子学与固体电子学作者姓名：ｍ导师姓名：许高斌教授完成时间：２０１５年３月合肥工业大学学术硕±学位论文Ｈ賴电容式微加速度计接口Ａ別Ｃ设计作者姓名：奎證指导教师：许高斌教授学科专业：微电子学与固体电子学硏巧方向：微电子机械系统设计与应巧２０１５年３月ＡＤｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎＳｕｂｍ化ｅｄｆｏｒ化ｅＤｅ

3、ｇｒｅｅｏｆＭａｓｔｅｒＤｅｓ－ｉｎｏｆ虹化ｒｆａｃｅＡＳＩＣ化ｒ化ｅＣａａｃｉｔｉｖｅ３ＡｘｉｓｇｐＭ－ｉｃｒｏＡｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒＢｙＬｉＸｉｎＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＨｅｆｅｉＡｎｈｕｉＲ民．Ｃｈｉｎａ，，Ｍａｒｃｈ２０１５，合肥工业大学本论文经答辩赛黃会全綠蠻员审鹽，廟认持合含肥卫业大学擎历硕古擎粒论ｔ质量嬰求。、〉答辩委员会签名（工作单位、职称姓名主賴；邀叛六｜４巧丰巧神－ｆ。ｆ赛巧：么晏＊＆滅《奔气ｖＭ、夺和徐吁終ｒ

4、為ｉ＾Ｉ’学位论文独创性声明独立硏巧工巧巧本人懸重齊明：所呈交的学位橡文麗本人在导师擔辱下递行所知，论文中不哲含，除Ｉ文中特巧化巧标注巧致谢的巧容外取得的成粟．据我或其其他人己經发表或撰写过的巧巧成果，也不包含为获釋合肥Ｘｔｌｆ＿＿成梁撤垃贺歡的个人巧集体，植教畜机构的学位或证书丽使用过的材料。对本文．本人Ｂ在论文中巧了明确的说明巧表示磯意。学检论文申表达的观点纯麗作者本人魏点，与备肥工泌火学无关ｇ茲整名田期：如支年夺月呂学位论文作者签名；《射学位论文版校使用授巧书龙激怜沁节化患帝令了撼台牌１；化大学卷关保

5、留、使用学位论文的规Ｉ麗家有关纔口或机构，学校有巧保巧其向定：，Ｗ膝巧密期内的涉密擎位论文诗送交论文的霞印件巧电子光盘，化许论文殺查圓或侮圈。本人授较台腮工化大．學巧Ｕ蒋本学位论文的全扉或部分内容顯入有关数据库．化许采巧影印、缠印。或扫描等資制手段保存、汇編学位论文）（保密的学位论文在辭密后适用本授巧巧学位论文作者签名：聋奇指导Ｓ师签如武４兴曰整名曰期：月曰年＾佔４每签名０朔：兴巧＾月途文作者毕业去向工作单位；－ｍａＥｉｌ：．嚴：Ｉ电话觀玫鑛码：通讯地址：致谢、本论文及其实验是在尊敬的导

6、师许高斌教授的精屯指导和悉屯、关怀下完成的。在两年半的研究生生活中，许老师严谨的学术态度、孜孜不倦的探索精神和兢兢业业的工作作风Ｗ及对学生学术研究方面的严格要求，，都令我由衷的敬佩使我获溢匪浅；同时在生活中，许老师也给予我无私的帮助。在此，我谨向许老师致Ｗ衷屯、的感谢和最崇高的敬意。感谢电子科学与应用物理学院陈兴老师和马渊明老师的耐也指导和帮助。感谢段宝明、韩成成、李凌字、夏吉、卢翌、黄文巧、沈文清等师兄师姐的帮助、刘方方、杨业灿、许世峰等同学的帮助，感谢李建军、李勇、，感谢张胜兵陈竟成、余成歳、胡方菲、奚野、肉瑞、汪群等

7、师弟师妹的帮助。感谢我的父巧，正是他们的支持和鼓励才使我能全力Ｗ赴的完成学业。最后！，衷也感谢所有帮助和关也我的老师、同学和亲朋好友作者：李新２０１５年４月１０日Ｉ摘要兰轴电容式微加速度计具有体积小、重量轻、精度高、可靠性高等优点，广泛应用于军事装备、汽车电子、智能终端等领域。受制于材料、微电子工艺等基础工业水平的限制，目前国内研制出的相关巧片的性能与国外先进水平相差较大，尤其接口ＡＳＩＣ部分的性能迫切需要提高。本文首先分析了Ｈ轴电容式微加速度计敏感结构部分和接日ＡＳＩＣ部分的工作原理，并结，比较了

8、不同结构的微加速度计的噪声水平和稳定性等方面的差异一合对系统中各种噪声的分析确定