电容式单质量三轴加速度计的研制

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1、ｐ例乂爭《ＳＯＯＣＨＯＷＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＩ硕ｉ学位论文－＾＇＇．＇？与如—／论文题目电容式单质量Ｈ轴加速度计的硏制鞭＇—真研究生姓名袁飞指导教师姓名陈立国专业名称ｘｉ＿＿＿＿ｉ—ＭＭ研究方向ＭＥＭＳ结构设计论文提交日期２０１５年６月苏州大学硕±学位论文原创性声明本人郑重声明，：巧提交的学位论文是本人在导师的指导下独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含其他个人或集体己经发表或撰写过的研究成果，也不含为获得苏州大学或其它鼓育机构的学位证书而使用过的材料。对本

2、文的研究作出重要贡献的个人和集体，均已在文中Ｗ明确方式标明＝本人承担本声明的法律责任。＂《论文作者签名：年月／之日Ｓ指导教师签名：２＾＜７年《月日苏州大学硕±学位论文版权使用授权书学位论文使用授权声明本人完全了解苏州大学关于收集、保存和使用学位论文的规定，即：学位论一文著作权归属苏州大学。本学位论文电子文档的内容和纸质论文的内容相致。苏州大学有权向国家图书馆、中国社科院文献信息情报中私、中国科学技术信息（研究所（含乃方数据电子出版社）、中国学术期刊光蟲版）电子杂志社送交本学位论文的复印件和电子文档，允许论文被查阅和借阅，可Ｗ采巧影印、缩印或其他

3、复制手段保存和汇编学位论文，可Ｗ将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索。涉密论文□本学位论文属在年月解密后适用本规定。＿＿＿＾非涉密论文口论文作者签名；未餐日期；导师签名：兮今期：丘［电容式单质量呈轴加速度计的研制电容式单质量Ｈ轴加速度计的研制摘要、电容式加速度计广泛应用于国防、航空航天、汽车通信等军用民用领域，是当前市场的主流和研究的热点。随着应用领域的不断扩大，单双轴电容式加速度计己无一法满足使用的需求，Ｈ轴电容式加速度计集成成为重要的发展方向么。本课题旨在一一Ｈ轴电容式加速度计点从电容式单质量Ｈ轴加速度研制种基

4、于单敏感质量的，重计的结构设计、仿真优化和工艺制作Ｈ方面入手，研究提髙器件灵敏度、降低非线性度、减小布朗噪声和交叉轴灵敏度的方法。本文首先针对平板电容的检测方法和结构进行分析研究，提出电容式单质量Ｈ轴加速度计的结构模型，分析其工作原理和賴合情况。基于力学法和能量法，建立弹性梁的理论模型，推导梁在器件工作模态的刚度公式。针对检测梳齿的工作原理进行分。析，建立其等效模型根据Ｗ上模型，理论计算电容式单质量三轴加速度计的各项性能参数。基于位移法和谐振频率法，运用有限元仿真软件，模拟验证梁在工作模态下刚度公式的准确性，并依此进行优化。模拟器件的工作模态，分析其灵敏度和许用

5、应力情。，况针对工艺和使用过程中热机械应力对器件性能的影响进行仿真分析，验证器件对应力的敏感程度。介绍电容式单质量Ｈ轴加速度计的引线层、中间连接层、结构层和ａｄ层的版图ｐ绘制。采用基于表面桂工艺的多晶桂外延技术实现器件的加工制作。针对制作工艺对器件结构性能的影响进行分析，优化王艺流程。建立电容式单质量王轴加速度计的测试平台，对其性能指标进行测试分析。通过对比分析测试值和理论值的差异性，验证理论设计的正确性，同时验证电容式单质量Ｈ轴加速度计性能指标达到设计要求。一关键词：ＭＥＭＳ；电容式加速度计；单敏感质量作者；袁飞指导老师：陈立国１电容式单

6、质量Ｈ轴加速度计的研制Ｔｈｅ－ｄｅｓｉｎａｎｄｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｏｆｔｈｅｔｒｉａｘｉｓｃａａｃｉｔｉｖｅｇｐａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｓｉｎｌｅｍａｓｓｇ乂ｂｓ化ａｃｔＣａａｃｉｔｉｖｅａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｈａｓｂｅｅｎｗｉｄｅｌｕｓｅｄｉｎｍｉｌｉｔａｒａｎｄｃｉｖｉｌｉａｎｆｉｅｌｄｓｕｓｔｌｉｋｅｙ，ｐｙｊｎａｔｏｎａｌｄｅｆｅｎｓｅａｅｒｏｓａｃｅａｕｔｏｍｏｔｉｖｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓａｎｄｓｏｏｎＴｈｅｃａａｃｉｔｉｖｅｉ，．，ｐ，ｐａｃｃｅｌｅ

7、ｒｏｍｅｔｅｒｈａｓｂｅｃｏｍｅ江ｍａｉｎｓｔｒｅａｍｆｏｒｔｈｅｍａｒｋｅｔａｎｄｒｅｓｅａｒｃｈ．Ｄｅｐｅｎｄｉｎｇｏｎ化ｅａｃａｔ－ｐｐｌｉｉｏｎｆｉｅｌｄｓｔｈｅｉｎｔｅｒａｔｉｏｎｏｆｔｒｉａｘｉｓｃａａｃｉｔｉｖｅａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｉｓａｎｉｍｒｔａｎｔ，ｇｐｐｏｃｍｃ打ａ目ｒａｍｃｓ打ｉｍａｎｕａ－ｄｉｒｅｃｔｉｏ打ｏｆ