单晶截断作业指导书

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1、单晶截断作业指导书篇一：切断作业指导书2篇二：单晶拉制作业指导书(新)篇三：MB264单晶切割作业指导书篇四：单晶作业指导书一、取单晶准备1、准备好线手套、耐高温手套、无尘纸；2、准备好钢丝钳、取单晶的小车；3、用沾酒精的无尘纸将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；二、拆炉取单晶1、待单晶冷却4小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行检漏；93、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时

2、，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；4、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；5、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；6、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，抓紧重锤，用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，再将重锤升至副室内；三、导流筒.保温盖.锅底料的取出1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂钩（埚杆扳手）；2、戴好手套及耐高温手套；3、按顺序取出导流筒和保温盖；4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上；1、戴好耐高温手套和准备好钳子；2、用钳子夹住石英埚的

3、上端部分提起，使其松动；3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；四、清理大罐91、准备好毛刷、吸管、专用工具；2、带好手套、防尘口罩；1、用专用工具大罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网；2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物；3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐；4、用刷子和吸尘器清扫罐盖；5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓

4、；五、管道炉盖的清理1、带口罩、手套；2、准备好防尘口罩、无尘纸、酒精、清扫用的氩气、研磨布、毛刷、吸尘器管等清扫所需物品；1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽；2、安装管道盖时，一定要检查密封圈是否完好、洁净，拧紧螺丝时一定要对角拧紧，以防抽空时漏气。六、小付室的清扫1、打开副炉室门；2、用沾有酒精的无尘纸擦拭小付室的附着物；七、石墨件的清理91、准备好清扫用品（毛刷、无尘纸、氩气、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石墨件的洁净小车等）带好手套、防尘口罩；2、依次用毛刷、吸尘器

5、、无尘纸、清扫石墨件，直至确认无污物；炉内的清理1、准备好毛刷、吸尘器和专用工具；2、用专用工具仔细地疏通废气孔，用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿拆炉时落掉的残渣；3、用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒，加热器所能触及到的部位；八、安装石墨件1、依次安装石墨件埚杆.埚托.三瓣埚.安装石英埚1、打开石英坩埚包装，对光检查石英坩埚的内壁有无裂纹、污物、气泡和黑点；2、若无异常，用氩气对石英坩埚做认真仔细的整体吹扫，吹净浮尘；3、在炉内的石墨埚上装好石英坩埚；装料1、将母合金放入石英坩埚内；2、在埚底平铺小型硅料，然后将大型硅料放在上面；3、9在

6、大型硅料之间的间隙里填充小型硅料；4、在大块硅料装完后，再装中型硅料；5、在装料到石英坩埚最上层时，中型硅块料靠坩埚壁尽量以点接触，避免面接触，造成挂边；6、最后将硅料堆成锥形状，有利于放导流筒；安装导流筒及保温盖1、装料完成后埚转为2/RPM左右旋转，查看坩埚旋转情况；2、清扫周边（埚上部、加热器上部、保温材料上部、炉盖接合部）用干净吸尘器吸净灰尘及硅渣；3、确认无摩擦快速将埚降至下限，埚降到位后，停止埚转，装好保温盖、导流筒；炉盖的清扫1、用沾有酒精的无尘纸擦拭炉盖接合部、炉筒的接合部的封密圈并检查，确认无问题后，将炉盖旋转至炉筒上部；

7、打开液压泵电源，按炉盖降按钮下炉盖副室的清扫1、准备好清扫棒、无尘纸、酒精、氩气；2、9在清扫棒上缠上沾有酒精的无尘纸，清扫副室内部至上部；3、用清扫棒吹扫副室内部至上部，直至确认无污物；4、用沾有酒精的无尘纸认真擦拭重锤及钼夹头，最后用氩气认真吹净；5、按晶快升升起重锤至适当位置，用沾有酒精的无尘纸擦拭副室下部的接合部和炉盖上部的接合部，转动副室，降下与炉盖合炉；安装籽晶1、用沾有酒精的无尘纸认真擦拭籽晶，并用氩气吹净；2、把籽晶装在夹头上，装好钼销；3、用力向下拽一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后，按晶快升使其上至适当位置，关闭副室小门，开

8、始抽空；抽空1.打开真空泵电源；2.缓慢打开球阀；3.抽空后炉内力达＜20Pa时，进行反复充氩气，使炉内压力＜10Pa；4.关闭真空球阀，进行冷检漏3分钟，看漏率是否小于1Pa；