四探针电阻率(单晶硅电阻测量仪)new

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1、XH-2四探针电阻率测试仪（单晶硅电阻测试仪）使用说明书北京羲和阳光科技发展有限公司2009.371、概述四探针电阻率测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。2、测试仪结构及工作原理测试仪主机由主机板、电源板、前面板、后背板、机箱组

2、成。电压表、电流表、四探针头连接插座均装在前面板上。后背板上只装有电源插座、电源开关。测试仪的基本原理仍然是恒流给探针头（1、4探针）提供稳定的测量电流I（由DVM1监测），探针头（2、3）探针测取电位差V（由DVM2测量），由下式即可计算出材料的电阻率：对于厚度≤4mm的样片均可按上式计处。式中：V——DVM1的读数，mV。I——DVM2的读数，mA。W——被测样片的厚度值以cm为单位。F（W/S）——厚度修正系数，数值可查附录二。F（S/D）——直径修正系数，数值可查附录三。Fsp——探针间距修正系数。Ft——温度修正系数，数值可查附

3、录一。由于本机中已有小数点处理环节，因此使用人无需再考虑电流、电压的单位问题。本套仪器使用专用软件进行数据采集,可实现自动换向测量、存储,求平均值，最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。对厚度＞4mm的样片或晶锭，电阻率可按下式计算：ρ=2πSV/I（2）这是大家熟悉的样品厚度和任一探离样品边界的距离均大于4倍探针间距（近似半无穹大的边界条件），无需进行厚度、直接修正的经典公式。此时如用间距S=1mm的探头，电流I选择0.628；用S=1.59mm的探头，电流I选择0.999，即可从本仪器的电压表上直接读出电阻率。73、使

4、用方法使用仪器前将电源线、探头连接线与主机联接好。电源线插头插入～220V座插后，开启背板上的电源开关，此时前面板上的数字表会亮起来。探针头压在被测单晶上，电流表显示从1、4探针流入单晶的测量电流，左边的表显示的即为电阻率值。4、主机技术能数（1）测量范围：可测电阻率：0.1～199.9Ω·cm（2）供电电源：AC220V±10%50/60Hz功率：12W（3）使用环境：温度：23±2℃相对湿度：≤65%无较强的电场干扰，无强光直接照射（4）重量、体积：主机重量：7.5kg体积：365×380×160（单位：mm长度×宽度×高度）7附录1

5、.1温度修正系数表ρT=FT*ρ23标称电阻率Ω.cm温度FTºC0.0050.010.11510100.97680.99690.95500.90970.90100.9010120.98030.99700.96170.92320.91570.9140140.98380.99720.96800.93700.93020.9290160.98730.99750.97470.95020.94500.9440180.99080.99840.98150.96350.96000.9596200.99430.99860.98900.97850.97600

6、.9758220.99820.99990.99620.99270.99200.9920231.00001.00001.00001.00001.00001.0000241.00161.00031.00371.00751.00801.0080261.00451.00091.01071.02221.02401.0248281.00861.00161.01871.03651.04001.0410301.01211.00281.02521.05241.05701.0606注：①温度修正系数表的数据来源于中国计量科学研究院。7附录1.2温度修正系数表

7、(续1)ρT=FT*ρ23标称电阻率Ω.cm温度FTºC25(17.5—49.9)75(50.0—127.49)180(127.5—214.9)250/500/1000(≥215)100.90200.90120.90060.8921120.91380.91380.91400.9087140.92750.92750.92780.9253160.94220.94250.94280.9419180.95820.95800.95820.9585200.97480.97500.97500.9751220.99150.99200.99220.9919

8、231.00001.00001.00001.0000241.00781.00801.00821.0083261.02481.02511.02521.0249281.04401.04281.04