动力系统架构介绍20110825

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1、动力系统架构介绍动力部-袁学申2011.8.25时间：14:00-15:301前言动力部-欧美、台资企业习惯称为FacilityDepartment，随着半导体行业的在大陆的发展，受欧美、台资企业的影响，人们习惯将为FAB提供水、电、气、及其他动力供应的部门为厂务部，简称FAC国内企业习惯将同种职能部门称呼为动力部门或设施部门，为尊重公司的企业文化和大家习惯，在此称之为动力部，厂务和动力即为同一个部门。2课程目的：了解动力部门的基本职能和作用熟悉动力设备分布及主要系统构成了解动力设备与生产的相关及重要性3动力部门的职能：为生产制造部门提供安全的、连

2、续稳定、高品质的动力、水、电、气供应；同时提供清洁、安全的生产环境。保证动力设施安全稳定运行同时，持续开展节能工作、降低能源消耗是厂务部门的一个重要工作目标。4动力系统架构图5动力系统组成电力供应系统暖通、动力及排气系统气化系统给排水系统6NF3DEZ房特气房柴油发电机房LN2.LO2.LAr氢气站危险化学品仓库硅烷站配电室锅炉房102厂房空压机房冷冻水站纯水站PCW系统冷却水塔2F空调箱2F空调箱厂务系统分布图废水处理系统消防&生产水池7动力系统之电力系统高低压配电NE紧急柴油发电机组GEUPS电源电力系统电力系统：主要由市电配送系统、紧急柴油发

3、电机、UPS不间断电源三部分构成。8共创电力基本架构图变压器10KV进线主开高压配电开关102厂房工艺设备用电102厂房工艺设备用电102厂房工艺设备用电102厂房动力设备应急负荷办公楼宿舍用电变压器变压器变压器柴油发电机变压器9共创电力基本架构图工艺配电柜工艺配电柜空调通风设备动力配电柜动力站3台冷水机组消防及排烟风机电梯车间紧急照明1022F辅房及办公区域照明1021F周边辅房及办公照明特气系统水系统事故排风及特气设备特气系统10动力之空调.暖通.空压系统一、空调送排风系统:功能：为了维持车间温度，湿度，洁净度及正压要求，同时将车间设备产生的有

4、毒有害气体排出室内。组成：主要设备包括送排风系统(MAU、AHU)，排气（VEX,DUX,GEX,SEX）系统。11一、空调送排风系统12二、空调水系统空调水系统包括冰水系统（7℃）、锅炉热水系统（80℃）、冷却塔水系统（32℃）、空调加湿补水（二级RO水）系统四部分组成，为空调提供冷源、热源并保证空气的湿度，同时将冷水机组从车间获得的热量转移到大气中。保证无尘车间及办公区域的温度、湿度要求。13空调水系统流程图MAU或者AHU工艺冷却水系统14三、空压系统（CDA）原理：通过螺杆旋转作用，将吸入的外界空气不断压缩，获得一定压力的气体，使空气成为动

5、力的载体，通过管道将动力传送至设备使用点，作为设备气动元件的动力来源。15CDA工艺流程图16厂务之气化系统一、大宗气体系统UPW(N2)ABT(O2)、TCO（N2）特气系统PECVD(ArN2)低温槽车低温储罐空浴式气化器气体使用点调压、过滤装置大宗气体系统包括:液态氮气、液态氧气、液态氩气三种气体位置：102厂房北侧气罐区危害：低温窒息17二、特气系统Y-气瓶GC-气体控制柜VMB-现场气体分流箱车间机台GAS-BOX特气系统包括：SIH4NF3B2H6(2%)PH3(0.5)CO2TMBCH4性质危害：SIH4自燃易爆NF3腐蚀性，有毒B2

6、H6（2%）易燃剧毒PH3（0.5%）自燃、剧毒TMB（2%）自燃、有毒vPECVD(CO2SIH4、TMBPH3NF3CH4)TCO(B2H6)ABT18三、化学品系统-DEZ（二乙基锌）DEZtankDEZ控制柜现场DEZ分流箱蒸发器GASBOX位置：102厂房DEZ房危害：遇到空气自燃，与水发生剧烈反应。输送过程中分解成ZnO，同时释放热量19四、气体管理-侦测系统GMS-GDS系统功能：为防止BSGS、VMB、TOOLS在运行中出现危险气体泄漏对人员和设备造成的危害。当BSGS、VMB、TOOLS出现气体泄漏时，GMS能通过气体侦测器的侦测

7、结果来产生相应的联动，关闭相应的气体供应设备。保证BSGS、VMB、TOOLS的安全运行。原理：PLC根据模拟量转换计算出气体浓度值与所设定之报警值进行比较，再产生相应的联动动作（GC、VMB的RST，LAUBeacon的Red和Buzzer）。取样点分布：取样点为BSGS、VMB、TOOLSGASPANEL、环境，安装在Exhaust的阀门与机台风管三通之间。20GDS组成：1、BSGSDetector控制系统GMS系统提供BSGS的Detector连锁控制功能。当BSGS发生气体泄漏时通过连锁功能，PLC可以通过BSGS提供的Relay接点对B

8、SGS作RemoteShutdown。2、VMBDetector控制系统GMS系统提VMB的Detector连锁控制功能。