300片去磷硅玻璃清洗机方案

300片去磷硅玻璃清洗机方案

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时间:2018-05-17

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1、常州顺风光电科技有限公司全自动扩散后去磷硅玻璃清洗机1.概述1.1设备概要本设备主要功能是对Si扩散后的去磷硅玻璃处理。最大产量:每工位处理300片,每小时处理12框(3600片)外板用瓷白色PP板制作,槽体采用本色PP板制作。1.2设备组成此清洗装置主要由通过式清洗主体、移载机械手、抽风系统、电控及操作盘等部分组成。设备走向:根据设备场地布置的要求,设备走向统一采用“左进右出”方式。工件由作业员左手边上料工位人工上料,经清洗后,经作业员右手边下料工位人工出料。1.3设备描述l此装置是一个全自动的处理设备。l清洗工作过程由三菱FX系列PLC控制。l操作员通过10.4英寸彩色触摸屏控制

2、生产l工件由机械手移载,经去HF/清洗等工序。l清洗作业员将装满工件的工件框放置在进料台上,由自动机械手将工件框平移依次送到各处理工位,对工件进行腐蚀、清洗的全过程,工件最后由机械手移到出料台上,由作业员将工件框取出。1.4设备基本动作分析:→将欲处理工件放于上料传输线上9由移栽机械手依次将工件送到各处理工位→将已经处理过的工件人工转移92.工艺流程2.1被清洗物Si片125X125X0.28mm(3600PCS/Hr)156X156X0.28mm(3600PCS/Hr)2.2工艺流程:→上料→1#HF酸洗→2#纯水漂洗→3#纯水漂洗→4#纯水漂洗→下料2.3工艺细节:工序辅助处理液

3、时间温度材质自动盖浓度抽风1酸洗鼓泡HF4minRTPP/10%有2漂洗鼓泡DI水4minRTPP///3漂洗鼓泡DI水4minRTPP///4漂洗鼓泡DI水4min40~700CPP///93.设备技术参数3.1清洗工件要求3.1.1名称Si片3.1.2尺寸125X125X0.28mm156X156X0.28mm3.1.3清洗节拍5min/篮3.1.4清洗篮装载量300片/篮3.1.5片盒外型尺寸可兼容25片片盒与100片片盒3.1.6清洗篮负荷重量max40kg3.2设备基本要求3.2.1设备形式:室内放置型5KW3.2.2机械手设定速度:2000-5400mm/min(变频调速

4、)3.2.2电源:三相380±10%,50Hz(5线制),操作控制回路:DC24V,SOL:AC220V3.2.3能力设计:三班制(注:一天工作23H/天,330天/年)3.2.4电气性能:E级,并有良好的接地,抵抗500MΩ以上3.2.5会对人体造成伤害的部分须安装安全门或安全保护罩,有人员作业岗位使用双开关启动作业,易对人造成伤害部分设置光电安全门3.2.6非常停止开关设置:在各操作控制箱的表面须设置非常停止开关,作业岗位操作开关旁须明显设置有非常停止开关3.2.7工水:压力2-3kg/cm2,流量2m3/hr3.2.8DI水:压力3-5kg/cm2,流量2X1-2m3/hr(m

5、ax)电阻率18MΩ3.2.9压缩空气/氮气:压力0.5-0.7MPa/cm2,流量20m3/hr3.2.10环境要求:空气温度:5-40℃相对湿度:﹤90%3.2.11蒸气源:/3.2.12主铭板包括:设备名称,型号,厂家,出厂编号,出厂日期,简要电气参数等3.2.13控制面板铭板包括:装置名称,各开关动作标注等3.2.14部件标注铭板包括:各部件的名称,气体及液体流动方向等3.2.15涂装要求:各部分使用耐油性涂料涂2回以上,表面涂装光洁无凸点等93.3控制系统主要功能3.3.1三菱FX系列PLC控制,彩色触摸屏操作3.3.2报警、设备各项参数检测3.3.3具备低水位保护功能3.

6、3.4自动手动转换开关3.3.5加热器、马达等开关3.3.6清洗时间、温度、传动速度调节器3.3.7紧急停止开关3.3.8设备状态指示灯:设备要有明确的指示灯显示设备运转状态3.4设备特征3.4.1此清洗装置是一个全自动的处理设备,清洗工作过程由三菱FX系列PLC控制。l移载机械臂l清洗本体l总控制电柜等部分构成3.4.2移载机械臂l移载机械臂实现硅片承载架按工艺流程顺序移动l提篮设计简洁,减少残留液体l机械臂采用平稳控制方式,提篮不会晃动l可以对各槽处理时间单独设置,可以取消某槽处理工艺,实现柔性管理,可以自动和手动转换并继续原程序运行l每次只能钩取一个硅片承载篮,挂钩与机械手采用

7、螺纹连接,方便调整l机械手定位以光电开关为准,在各槽的减速/停止点设置有方便调整的光电开关l提升总质量不大于40kgl机械臂的定位准确度±2mm上下动作调速马达TECO9功率200W调速形式变频调速变频器ALT升降传动滚珠丝杆升降导轨直线轴承+导轴平移动作变频马达CPG功率200W调速形式变频调速变频器ALT传动方式齿轮齿条传动专用铝质导轨4040承载导向滚轮滚轮材质POM安全保护:正常上下位光电开关(光电开关属于非接触式检测)上下极限位行程开关(行程开关

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