高渗透刀轮切割tft_lcd薄型玻璃基板的工艺影响因素

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1、丁涛，李荣玉：高渗透刀轮切割TFT-LCD薄型玻璃基板的工艺影响因素文章编号：1006-6268（2009）06-0029-03高渗透刀轮切割TFT-LCD薄型技术交玻璃基板的工艺影响因素流121丁涛，李荣玉（1.上海交通大学电子信息与电气工程学院，上海200240；2.上海广电NEC液晶显示器有限公司，上海201108）摘要：介绍了切割TFT-LCD薄型玻璃基板的高渗透刀轮和切断的基本概念，以及刀轮角度、切断压力、押入量和切断速度工艺参数对切断效果的影响。采用115°和125°两种不同角度的刀轮在切断速度400mm/s、刀

2、轮押入量0.2mm的条件下进行切割，115°形成的垂直裂纹比125°要深；当其他条件一定时，垂直裂纹随切断压力的增大而增大，随押入量和切断速度的变化不大。关键词：薄膜晶体管液晶显示；高渗透刀轮；刀轮角度；切断压力；切断押入量；切断速度中图分类号：TN141.9文献标识码：BParametersofCuttingGlassSubstratesProcessofTFT-LCDbyPenettCutter1，21DINGTao，LIRong-yu(1.DepartmentofElectronicEngineering,Shangh

3、aiJiaoTongUniversity,Shanghai200240,China;2.ShanghaiSVA-NECLiquidCrystalDisplayCo.LTD，Shanghai201108，China)Abstract:ThePenettcutterandthebasicconceptofcuttingglasssubstratesofTFT-LCDandtheimpactsofprocessparametersoncuttingquality,suchasscribe-wheelangle,cutpressur

4、e,pressingamountandcuttingspeedofPenettcutterarestudiedinthispaper.Twokindofcuttinganglepenettcutter(115°and125°)areusedinthetrial.Whencuttingspeedis400mm/sec,andpressingamountis0.2mm,theribmarkofthe115°scribe-wheelisdeeperthanthatofthe125°scribe-wheel.Whentheother

5、parametersaredetermined,theribmarkisbiggeraspressurebecomeslarger,andthepressingamountandcuttingspeedhavelittleeffectontheribmark.Keywords:TFT-LCD;penettcutter;scribe-wheelangle;cutpressure;pressamount;cutspeed收稿日期：2009-03-18Jun.，2009，总第101期现代显示AdvancedDisplay29丁涛，

6、李荣玉：高渗透刀轮切割TFT-LCD薄型玻璃基板的工艺影响因素引言以获得较深的垂直裂缝。图1(c)为普通刀轮，刀轮外边光滑。现在液晶显示器和液晶电视已经走进了千家万另外高渗透钻石刀轮一般以聚合金刚石为原料，户，而且显示尺寸越来越大，价格却不断降低。这同液使用寿命非常长，因此长期使用而导致的切断不良的技术晶面板厂家不断投资高世代生产线、增大基板尺寸和问题较少。交应用新技术来降低成本是分不开的。2003年上海广流电引进了大陆第一条高世代（第5代）生产线，拉开了1.2切割基本概念我国该行业的序幕。低世代的TFT-LCD切断工程中切

7、割时，刀轮切入玻璃中约2~5μm的深度，在一般使用普通刀轮，裂纹渗透率低，因此切割后需要刀轮的下方形成5~10μm的切割深度。这一深度是反转敲击裂片工序，使生产节拍变慢，且反转后容易刀轮切割玻璃表面时所形成微裂纹端部的曲率半径。产生外观和盒厚不均不良。为了降低生产节拍和减少裂片过程中垂直裂纹纵向贯穿整个玻璃，使玻璃断屏显示不良的发生，在大型尺寸生产线上已经普及使裂。横向微裂纹在裂片过程中沿玻璃表面横向扩展，[3]用高渗透刀轮（垂直裂纹长度大于80%），切割后不形成玻璃屑。必反转敲击裂片即可进行分断，大大提高了生产效垂直微裂纹

8、（Ribmark）：切割后立即产生的垂直率。但切割机在切割过程中的机械加工应力所导致的于切割线和玻璃表面的微小裂纹。成品低、成本高等缺点仍是长期困扰人们的问题[1]。如横向微裂纹：切割后立即产生的垂直于切割线，果切断条件没有优化，干净的玻璃基板会变为玻璃屑但沿玻璃表面生长的微小裂纹，容易成