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《TFT_LCD基板玻璃熔窑与供料道设计原理与结构浅析.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、第38卷第4期玻璃与搪瓷Vol.38No.42010年8月GLASS&ENAMELAug.2010TFT-LCD基板玻璃熔窑与供料道3设计原理与结构浅析331,22221田英良,孙诗兵,梁新辉,张磊,程金树(1.武汉理工大学玻璃材料研究室,湖北武汉430070;2.北京工业大学玻璃材料研究室,北京100124)摘要:基板玻璃已经成为薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的关键材料之一,针对TFT-LCD基板玻璃的熔化成形要求,探讨了TFT-LCD基板玻璃熔窑的设计原理和结构,同时对供料道在玻璃熔制过程中的澄清和均化作用的原理进行了分析,藉此对我国TFT
2、-LCD基板玻璃的开发工作提供帮助和借鉴。关键词:TFT-LCD;基板玻璃;熔窑结构;供料道+中图分类号:TQ171.623文献标识码:A文章编号:1000-2871(2010)04-0004-04StructureandDesigningPrincipleofTFT-LCDSubstrateGlassFurnaceandItsForehearth1,222TIANYing-liang,SUNShi-bing,LIANGXin-hui,21ZHANGLei,CHENGJin-shu(1.LaboratoryofGlassMaterials,WuhanU
3、niversityofTechnology,Wuhan430070,China;2.LaboratoryofGlassMaterials,BeijingUniversityofTechnology,Beijing100124,China)Abstract:SubstrateglasseshavenowbecomethekeymaterialsforpreparingTFT-LCD(Thinfilmtransistorliquidcrystaldisplay).Thedesigningprincipleandstructureoffurnaceandit
4、sforehearthaswellastheprincipleofrefiningandhomogenizingprocessesareanalyzedinaccordancewiththerequirementsofTFT-LCDsubstrateglassesmeltingprocess.ItishopedthatthisworkisabletogiveahelptothosewhoengagedinresearchanddevelopmentofTFT-LCDsubstrateglasses.Keywords:TFT-LCD;substrateg
5、lasses;structureoffurnace;forehearth0概述LCD(LiquidCrystalDisplay液晶显示器)技术起源于欧美,发展并成熟于日本、韩国和我国台湾地区。进入21世纪以来,TFT-LCD(ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay薄膜晶体管液晶显示器)的应用与发展取得了巨大的成就,TFT-LCD逐渐取代了传统的CRT(CathodeRayTube阴极射线管)型显示产品,成为平板显示的主流产品。3收稿日期:2010-06-0933作者简介:田英良(1969-),男,副教授,在读博士。
6、E-mail:boli106@126.com第38卷第4期玻璃与搪瓷·5·由于TFT-LCD产业的迅猛发展,带动了与之配套的材料的发展,而TFT-LCD基板玻璃是TFT-LCD产业链中极为重要的关键材料之一。TFT-LCD基板玻璃要求尺寸精度高、无缺陷、热学稳定性好、化学稳定性佳等性能。TFT-LCD基板玻璃属于铝硼硅酸盐玻璃,这种基板玻璃的熔制非常困难,目前,全世界仅有几家大公司掌握和控制着TFT-LCD基板玻璃的生产技术。TFT-LCD基板玻璃的生产制造是在熔化、澄清、均化、成形、缺陷检查等各个环节都需要严格控制的过程,其中成形过程尤为重要,是整个
7、生产过程中的核心技术。本文对TFT-LCD基板玻璃的熔窑和供料道的设计原理及结构设计进行探讨。1熔窑和供料道的设计原理1.1基板玻璃的熔制过程TFT-LCD基板玻璃的熔制是一个极其复杂的过程,它包括了一系列的物理化学反应。玻璃原料在玻[1]璃熔窑内的熔制基本包括以下五个阶段:硅酸盐的形成、玻璃的形成、玻璃液的澄清、玻璃液的均化、玻璃的冷却等,而这五个阶段并没有明显的界限,如图1所示。[2]TFT-LCD基板玻璃属于无碱铝硼硅酸盐玻璃,玻璃成分范围(质量分数)为:SiO258%～70,Al2O312%～22%,B2O33%～15%,RO10%～25%(R
8、O为MgO、CaO、SrO、BaO等),其它0.1%～0.2%。从TFT-LCD基板玻璃的化学
