重庆大学x射线光电子能谱仪采购

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1、重庆大学X射线光电子能谱仪采购我校拟采购X射线光电子能谱仪1套，相关要求如下：本表面分析系统为联合谱仪，包括X射线光电子能谱（XPS）和紫外光电子能谱（UPS），用于材料表面的成分和价态的定性、定量分析。仪器主体包含进样腔室，分析腔室。进样腔室有配套的真空传输装置，能够维持高真空，并且有真空监测装置；分析腔室能够维持超高真空环境，并预留有与样品台对准的扩展接口，可安装UPS，AES，双阳极，GCIB离子枪，样品制备腔室和其他激发源等实现多种技术联用；分析腔室配备单色化AlKa阳极X射线源，荷电中和系统，氩离子刻蚀枪；仪器操控需要计算机及软件系统。1.真空系统1.1分

2、析室1.1.1优先考虑µ金属制造，其次为不锈钢金属；1.1.2*真空度：烘烤后优于7×10-8Pa；（真空系统抽速大者会给予加分考虑）1.2进样室1.2.1优先考虑µ金属制造，其次为不锈钢金属；1.2.2真空度：烘烤后优于7×10-7Pa；2.分析室样品控制、观察和调整2.1轴向：配备5轴样品台，即X、Y、Z移动和倾斜、旋转；2.1.1移动：X：不小于30mm，Y：不小于20mm，Z：不小于12mm2.1.2*倾斜：以水平方向为轴－90º～＋60º，可用于角分辨XPS；2.1.3旋转：以样品法线方向为轴360º连续旋转，可用于离子刻蚀防止弧坑效应；2.2控制：X、Y

3、、Z和倾斜全自动控制与记忆，可编程自动分析，且自动确定分析高度；1.1安置方式：应具备多试样样品条和单个样品座；1.2标准样品：配备用于校准平行图像图形化的Au网、用于校准空间分辨的锐利的刃口样品、用于校准能量分辨的Cu/Ag/Au等标准样品；2.进样室样品控制、观察和调整2.1多样品停放台：一次可装入并存储至少3个样品条（或者单次能保证完成不少于50个常规粉末样品的进样操作）；2.2样品观察：进样后抽真空时，能在样品上预设和记忆分析位置，并同时设定分析条件；3.静电传输透镜3.1静电传输透镜3.1.1选区分析模式：原则上需配备光阑遮挡式自动光阑和光圈，镜筒内置静电

4、偏转板，能够实现不移动样品台的选点微区分析和扫描成像；如未配备光阑遮挡式自动光阑和光圈，需提供相应证据及专利证明其所拥有技术等同或者优于该选区分析模式。3.1.2能量扫描范围：必须满足基本范围0~3000eV，能实现全谱和精细谱的采集；如果配备高能靶，原则上优先考虑。3.1.3能够很好的完成磁性样品的分析。4.电子能量分析器4.1采谱电子能量分析器需满足或者优于如下指标4.1.1类型：180°双聚焦半球扇形分析器；4.1.2半球分析器半径不小于150mm，半径越大优先考虑；5.电子检测器5.1电子检测器可采用两种方案：a）多通道板（MCP）和双层128物理通道的二维

5、阵列延迟线检测器（DLD）；b)光电子探测器为128通道MCP探测器(同时完成SXI二次电子影像、采谱分析及化学态成像)。如果产品有自身优势，可详细说明。1.1采谱模式1.1.1宽/窄扫描谱：顺序能量扫描；1.1.2快照采谱：非扫描模式的数秒即得，可用于瞬态XPS分析；1.1.3从图得谱：利用一系列顺序能量的光电子平行图像，在某一像素点上重构该点光电子能谱，空间分辨优于1μm（200×200μm2视场）；1.1.4能够实现从谱得图1.2成像模式1.2.1快速平行成像或者扫描成像1.2.1.1空间分辨：优于2µm（锐利刀口样品，信号强度80～20%的线宽度）；1.2.

6、2扫描成像：可实现束斑大小优于20µm的扫描；2.AlKα单色化XPS2.1.1射线源类型：AlKα单色化X射线源2.1.2分辨率(Ag3d5/2)：峰宽（FWHM）等于或者优于0.45eV。2.1.3灵敏度(Ag3d5/2)：任意束斑下，灵敏度必须等于或者优于0.6eV@1.5Mcps；束斑在100±20µm区间，等于或者优于0.6eV@400kcps；束斑小于20µm，等于或者优于0.6eV@5kcps。若优于此参数，请详细列出。3.Al/Ag(或Al/Zr、Al/Mg）双阳极3.1对于Al阳极须满足如7所示参数；对于第二阳极（Ag3d5/2）需满足x光电子能量

7、大于2000eV，能消除卫星峰，分辨出元素（如Co）的俄歇峰且灵敏度≥0.90eV@6kcps。1.荷电中和器1.1能量分辨和灵敏度(PET上O-C=O的C1s)：分辨率，C1s半峰宽≤0.85eV；林灵敏度，任意束斑下，灵敏度必须等于或者优于0.7eV@20kcps；束斑在100±20µm区间，等于或者优于0.7eV@3kcps。若优于此参数，请明确列出。2.配备Ar离子枪2.1可执行样品中和、清洁和深度剖析功能；离子能量范围不小于200eV-5keV连续可调且溅射区域可调；溅射区域尺寸越小越好，不小于10x10mm连续可调。同时能够解决生物样品的中和、清洁和