塞尔瑟斯气体质量流量控制器应用案例

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1、目录·差压式质量流量控制器/流量计产品概述....................1·差压式与热式流量计原理及性能对照表.....................2案例1：V10FD-LC在真空镀膜中的运用.......................3产品使用成功案例案例2：V10FD-LC在催化剂评价反映装置中的运用.............3案例3：V10FD-LC在等离子刻蚀领域中的运用.................4案例4：V10FD-LC在等离子刻蚀领域中的运用.................4层流式差压测量技术案例5：V10FD-LC在动物呼吸代谢领域

2、中的运用...............5案例6：V10FD-LC在分子束外延中的运用.....................5案例7：V10FD-LC在光纤中的运用...........................6案例8：V10FD-LC在化工实验设备领域中的运用...............6案例9：V10FD-LC在环境监测领域中的运用.................7案例10：V10FC-LC在气动系统中的运用......................7案例11：V10FC-LC在气体检漏中的运用......................8案例12：V

3、10FD-LC在气相色谱仪中的运用....................8案例13：V10FD-LC在氢燃料电池制造中的运用................9案例14：V10FD-LC在热处理领域中的运用....................9案例15：V10FD-LC在烧结炉中的运用.....................10案例16：V10FD-LC在太阳能领域中的运用...................10案例17：V10FD-LC在真空镀膜中的运用.....................11案例18：V10FD-LC在真空冶炼中的运用..........

4、...........11www.sailsors.com.cn产品使用成功案例V10FC质量流量控制器/流量计产品概述V10FC系列气体质量流量控制器/流量计(以下称MFC/MFM)通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量，这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点。本产品可以同时测量4种参数：气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压，并且可以同时显示和输出。层流式差压测量技术虽然传统的热式原理不需经过温压补偿即可以直接测量气体的质量流量,但是热式原理产品具有先天性的缺陷：长期加热的工作模式产生的热漂移,反应速度慢等缺点是不可避免的,而采用差压

5、原理的MFC/MFM几乎无零点和温度漂移,反应速度快,无需预热,上电即可操作,解决了长期困扰客户的问题。目前，一些领先的热式流量计厂家正在纷纷开发差压式质量流量计。Sailsors研发和生产差压式质量流量产品已有十余年的历史，广泛应用于各类需精确检测和控制气体流量的设备上。本资料中的V10FC系列是Sailsors根据市场需求推出的以高精度和多功能为特色的普及型产品。差压式与热式流量计原理及性能对照表指标V10FC差压式原理传统热式原理原理传感器温度、压力、差压三支传感器MEMS裸片传感器或金属封装传感器响应时间MFM:10毫秒MFC:100毫秒0.8～2秒www.sai

6、lsors.com.cn量程5SCCM～250SLM10SCCM～2000SLM预热无需预热无需预热介质非腐蚀性清洁气体与传感器选型有关耐压1MPa、3MPa3MPa、10MPa准确度±0.1%F.S±1.5%F.S线性±0.5%F.S±0.5%F.S重复性±0.2%F.S±0.2%F.S测控范围控制器阀控范围50:1，流量计量程比100:1控制器阀控范围50:1，流量计量程比100:1-9-9漏率1×10SCCSHe1×10SCCSHe1V10FC质量流量控制器/流量计产品构造流量/压力/温度三路输出和通讯高精度比例调节阀标配带背光的显示器多功能按键手动阀控制产品使用成

7、功案例Swagelok接头铝合金外壳316不锈钢基座层流式差压测量技术V10FC质量流量控制器/流量计显示界面实时压力指示实时温度指示实时输出指示瞬时流量气体类型累计体积流量累计质量流量阀门开度显示V10FC-XS流量计算机功能和显示界面中文或英文界面，可同时显示4个通道的参数单通道显示时，界面与流量计显示内容类似数字输入键www.sailsors.com.cn手动阀门控制自动阀门控制2产品使用成功案例案例1V10FD-LC在真空镀膜中的运用ޣय़䯔ⳳぎ䅵ⳳぎ㜨ԧⳳぎ⋉MFC៾ℶ䯔⇨⑤玻璃镀膜技术济南某机器有限公司企业是专门生产