mfc1000气体质量流量控制器

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1、MFC-1000气体质量流量控制器用户说明书上海睿熹科技有限公司ShangHaiWise&ChooseTechnologyCo.,LtdMFC-1000气体质量流量控制器MFC-1000气体质量流量控制器产品特点ò高精度气体质量流量控制器ò取代传统的手动调节的气体控制部件即气体稳压阀、稳流阀和针形阀ò采用独特的CMOS兼容MEMS工艺制造的气体质量流量传感器ò气体流量数字化标定，进行温度补偿ò快速响应时间（设定值2%范围内<0.5s）ò输出方式灵活，采用数字化输入/输出接口（RS-232），可根据用户需求量身定做通讯模式ò具有

2、多款符合不同用户需求的气体质量流量控制器（根据不同气体量程和控制精度）气体流量量程：µ0～50SSCMµ0～100SSCMµ0～200SSCMµ0～500SSCMµ0～1000SSCMò连接尺寸与其它的标准质量控制器兼容产品应用ò研究实验室的试验工场装置；ò分析仪器（气相色谱仪）、环境设备气体流量控制；ò食品的加工控制；ò化学和石化工业的气体流量监控；ò发酵和生物技术；ò质量控制和泄漏探测系统；ò气体混合和环境的控制；ò燃烧控制；ò半导体制造业；ò表面处理装置；ò气体分配消费量测量；ò探测物体气体泄漏等；主要技术指标规格条件数

3、值单位范围：产品型号MFC-1000A型B型C型D型E型流量范围标准气N20～500～1000～2000～5000～1000SCCM性能指标：精度10～100%FS±0.2±0.1±0.05±0.1±0.2%F.S（分辨率）<10%FS±0.2±0.1±0.05±0.2±0.4%F.S准确度±1.5±1.5±1.5±1.5±1.5%F.S重复精度±0.2±0.2±0.2±0.3±0.3%F.S响应时间设定流量值0.50.50.50.50.5S上海睿熹科技有限公司2MFC-1000气体质量流量控制器2%范围内工作压差范围100～

4、700200～700350～700100～200100～200Kpa（在以上的（在以上的精度范围内）精度范围内）耐压1Mpa标准标定气体以氮气（N2）和自定义4种气体工作环境温度5℃～45℃℃-6外部泄漏率He1×10ml/s输入电源DC±15V(±0.5V)500mAV通讯方式数字量■RS-232□RS-485□RS-232（TTL电平）模拟量□0～5V□4mA～20mA引线Sub-D8芯注意：ò气体质量流量控制器出厂使用氮气（N2）和用户自定义四种标准气体标定。ò工作压差范围根据不同气体流量量程范围，要求如下（氮气）：流量

5、量程范围工作压差范围0～50SSCM100Kpa以上，能控制最大流量0～100SSCM200Kpa以上，能控制最大流量0～200SSCM350Kpa以上，能控制最大流量0～500SSCM100～200Kpa的压力范围内，可到达以上的控制精度（即分辨率）0～1000SSCM100～200Kpa的压力范围内，可到达以上的控制精度（即分辨率）ò标准状态规定为：温度——25℃气压——101KpaòF.S（FullScale）:满量程ò以上各类型的气体质量流量控制器都可通过命令字改变标定的气体类型（即N2或自定义气体），但其流量范围将有

6、所变化。上海睿熹科技有限公司3MFC-1000气体质量流量控制器工作原理气体质量流量控制器（MFC）由气体流量传感器部件、流量控制部件、比例阀体部件和气体流路部件组成。其结构框图如下：气源输入FS气体质量流量传感器比例阀流量设定值流量信号值RS-232控制信号输出反馈信号ò气体质量流量传感器技术气体质量流量传感器是流量控制器中关键部件。是利用热传递的量热原理，测量气体质量的流量。热绝缘膜片上的加热元件，其温度始终高于周围温度。当有气体流量流过时，温度场因流体介质带走热量导致气流上、下游产生温度之变化，这种非对称性检测和执行过程

7、都在一个CMOS硅片上完成，集成在硅片上的温度传感器对此温度分布测量，通过校准，专门的信号处理电路和气体流量数学模型的精确计算，保证气体质量流量检测的高精度和稳定性，从而替代传统的容积式和压差式的流量传感器。ò信号处理控制原理气体质量流量传感器信号输出已通过数据处理（包括数据线性化、温度补偿等处理），采用闭环控制技术实现气体流量控制。闭环控制技术是一种有实测信号反馈，并根据系统输出气体流量信号变化进行控制，即通过比较输入气体流量值与输出气体流量信号之间的偏差，并消除偏差以获得预期的系统性能，至此具有自动调节功能。在反馈控制系统

8、中，不管出于什么原因（外部扰动或系统内部变化），只要被控制量气体流量偏离规定设定值，就会产生相应的控制作用去消除偏差。因此，它具有抑制干扰的能力，对元件特性变化不敏感，并能改善系统的响应，控制精度高的特性。上海睿熹科技有限公司4MFC-1000气体质量流量控制器安装和接线ò外