SJT10583-1994-气体质量流量控制器通用技术条件.pdf

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1、L98中华人民共和国电子行业标准SJ1T10583一94气体质量流量控制器通用技术条件Generalspecificationforgasmassflowcontroller1994-08-08发布1994-12-01实施中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94气体质量流量控制器通用技术条件Generalspecificationforgasmassflowcontroller飞主题内容与适用范围本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管

2、传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器(以下简称控制器)。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。弓1用标准CUB191包装储运图示标志己B6388、运输包装收发货标志GB/T13384机电产品包装通用技术条件SJ37电子工业专用设备型号命名方法SJ/T电子工业专用设备可靠性指标验证考核试验方法术语、符号F·S(fullscale)满量程值:一;质量流量massflow单位时间内流过某截面的流体的质量数。气体质量流量用标准状态下的体积流盘来表示。气体质量流量单位如下:a.标准状态ml/min(

3、SCCM);阮标准状态I/min(SLM).标准状态规定为:气体楹度:。℃;气压!101325Pa.3.3流量范围ranges同一型号控制器所包括的最小至最大的流量规格的范围。控制器的流量规格通常用它的满量程值来表示.流量规格一般按1,2,3,5分档，如10尽CCM,20SCCM,3SLM,SSLM等。中华人民共和国电子工业部1994-08-08批准1994-12-01实施一1一SJ/T10583-943.4准确度accuracy控制器满量程的流量示值与标准器测量的满量程实际值之差与满量程实际值相比的百分比值。控制器的准确度仅指在标准标定条

4、件下的流量标定的误差值。3.5线性linearity量程内各点的实际流量值座标相对零到满流量程实际流量值座标连接直线的最大偏离程度，用相对满量程的实际流量的偏差的百分比表示。3.6重复精度repeatability在温度、气压等环境条件不变的情况下，控制器的同一示值的实测流量的升降变差相对满量程实测流量的百分比值。3.7响应时间responsetime当设定值发生阶跃变化后，气体流量跟随设定值改变，通过一段时间后达到相对最后稳态值的误差范围之内时，这段时间称为响应时间。响应时间分电特性和气特性，气特性又分为控制器局部气特性和大气容系统气特性

5、两种.3.8工作压力范围oneraY.}g,pressurera;。能保证生制器在全量程范困内正含稳定工作的最小到最大淤口气压/芭枯入口一与出口之间的气压降)。3.9压力系数pressurecoefficient在流量示值不变的情况下，实际流量随工作气压变化的改变量相对标定的满量程实际流量的百分数与气压改变量之比。3.10漏气率leakintegrity单位时间内的氦气泄漏量。单位:标准状态ml/s氦CSCCSHe)3.11温度系数3.11.1零点温度系数temperaturecoefficientonzero在工作温度范围内，流量检测电

6、压随温度改变的零点漂移量相对满量程流量检测电压的百分数与变化温度差值之比。3.11.2灵敏度温度系数temperaturecoefficientonspan弃工作温度范围内，流量示值不变的情况下，满量程实际流it随温度改变而发生的变化量相对温度变化前的满量程实际流量的百分数与变化温度差值之比。3.12电压稳定性voltageregulation在控制器处于稳定的条件下，输出的流量检测电压的变化量与满量程流量检测电压之百分比。产品分类按流量范围可分为四类:a.;小于等于SSLM;b.,10^-30SLM;c.中小流量:介子中、小流量范围;d，

7、大流量:大于30SLM,2一SJi'T10583-944.2按控制阀的种类可分为四大类:a.压电阀式;b.热膨胀阀式;c电磁调节阀式;d.其它调节阀式(包括步进电机和伺服电机等).4.3质童流童控制器的产品型号参照SJ37命名，书写格式如一「;D口口口口口-r丁︸广甲-口型I!一企业代兮LJI匕A-Z改型特征(可省路).L01一99设计序号控制阀种类:1.压电阀12.热膨胀阀;3.电磁调节阀;4.其它.流量范围分类11.小流量;2.中流量;3.中小流盘灸大流蚤.部标分类价弓例:质量流量控制器D07-3301A/ZMM.5技术要求5.1一般要

8、求5.1.1外观要求a外观应平整、光滑、无划yl}和锈蚀现象，镀涂层不得脱落。b.金属表面光洁。c.各种标记清晰无误。5.1.2结构要求a.结构合理，便于安装、拆卸和维修;b.电