silvaco的学习心得

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1、silvaco的学习心得1.Silvaco的各仿真组件均在DeckBuild中启动，包括结果由可视化工具Tonyplot输出。主要组件包括以下三个：ATHENA对工艺（淀积，离子注入，扩散，氧化光刻，掩膜）进行控制，生成器件结构ALTAS对器件特性进行仿真计算DevEdit编写器件结构和Mesh编辑器2.ATHENA的仿真流程a.建立仿真网格命令是line,参数有x、y、location、spacing。x、y分别设定垂直x、y轴的网格线，location(loc)为轴上坐标，spacing为网格线之间间距（单位um）

2、b.仿真初始化命令是initialize(init)c.工艺步骤（如淀积、光刻、氧化、刻蚀、扩散...）d.抽取特性（如结深、材料厚度、浓度分布...）命令是extracte.结构操作（导入结构、对结构旋转、对结构做镜像和保存...）命令是structure保存文件structureoutfile=filename.str对结构做镜像structuremirrorleft结构上下翻转，将衬底置表面structureflip.y导入结构文件structureinfile=filename.strf.Tonyplot显示3

3、.文件类型输入文件*.in(DeckBuild界面仿真输入文件)结构文件*.str(器件结构文件)器件仿真结果文件*.log(仿真结果文件或日志文件)显示设置文件*.set(Tonyplot设置文件)掩膜文件*.lay(掩膜结构信息文件)Filename.dat(结果抽取文件)4.Silvaco命令格式1.由command和paramter组成如commandparameter1=n表数值commandparameter2=c表字符串2.一行写不完在行尾加“”续接，“#”表注释5.DeckBuild命令有

4、：Extract,Go,Set和tonyplot1.extract语法（syntax）：extractname=parameters2.go语法：gosimulator可以是athens或atlasgosimflags=simflags仿真参数和程序版本3.set语法：set=valuevalue可以是数值或表达式即定义变量4.tonyplot语法：tonyplotfilename.str/filename.log/filename.

5、dat即将文件显示出来6.器件特性仿真ALTASgoatlasmeshregionelectrode结构定义dopingmaterialmodels材料模型定义contactinterfacemethod选取数值计算方法logsolve求解loadsaveextracttonyplot结果分析quitATLAS语法：状态和参数：ATLAS输入文件包含一系列状态量，每个参量都有对应的关键词格式：statmentparameter=value四种定义器件结构的方法：1.直接导入结构文件meshinfile=filename

6、2.由ATHENA直接生成器件结构electrodename=substratebackside3.由ATLAS命令生成x.meshlocation=spacing=4.由器件编辑器DecEdit写器件结构regionnumber=一.结构定义之1.网格定义mesh1.网格化分：mesh如meshspace.mult=#value默认是1，大于1，则网格变粗糙。x.meshlocation=

7、0.0spacing=0.05y.meshloc=0.0spac=0.05#若各个location的spacing一样的话，则网格均匀；反之，不均匀；单位都是um。2.网格栅除：eliminate如eliminatecolumnsx.min=1x.max=4y.min=1y.max=4#纵向网格线隔一条删除一条。2.区域定义region语法：regionnumber=nmaterialposition#n为1-200之间如regionnum=1y.max=0.5siliconregionnum=2y.min=0.5y.

8、max=1.0x.min=0x.max=1.0oxideregionnum=3y.min=1.0y.max=2.0x.min=0x.max=1.0GaAs3.电极定义electrode#electrodename=[number=][substrate]方法一：elecname=e