21.探针台、探针卡简介

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1、探针台、探针卡简介探针台、探针卡探针台（WaferProber）是ATE对集成电路芯片进行测试时用于移动晶圆的机械装置。在晶圆测试准备前，探针台与晶圆探针卡（ProberCard）相连，晶圆则放置在探针卡下方的工作台上，同时确保探针卡上的探针与晶圆表面Pad接触良好。在进行晶圆测试时，当探针台监测到探针卡与芯片Pad接触良好时，探针台会发送信号告知ATE已做好测试准备，然后ATE会进行一系列的电学参数测试，当晶圆上的一颗芯片完成电学参数测试以后，ATE会发出指令要求探针台移动晶圆，以便测试下一颗芯片的电学参数。ATE

2、和探针台之间的通信协议保证ATE只会在芯片位置正确以后才会开始进行测试，同时也确保探针台不会在测试时移动晶圆。探针台、探针卡探针台、探针卡TELP8探针台如图3.5所示，TELP8探针台能在特定的设定下按照规定的行程进行移动，XY轴采用低惯性步进电机，在运行过程中极大的减少了误差，Z轴行程可达95mm精度控制在2um内，极大的保证了针压的稳定性；它的载片台能承载厚度在180~1000um的4~8英寸晶圆，单SITE（管芯/芯片）尺寸可测范围在300~76000um，既最小尺寸300*300um；机器本身最多能容下两个

3、晶舟盒（每个晶舟盒能容载晶圆25片），共五十片晶圆；台盘可选配可控变温功能，温度范围在-10℃~150℃能满足一些特定要求的测试。P8探针台拥有先进的视觉系统，在特定的设置下它能够自动调节灯光镜头焦距找到特征点，并确定晶圆芯片的位置生成坐标，自动生成晶圆的MAP图，计算出待测芯片的数量。后续可根据实际要求对MAP图进行修改。探针台、探针卡探针卡是连接晶圆和探针台的重要装置，一种常见的探针卡如图3.6所示。探针卡主要由印刷电路板（PrintedCircuitBoard，PCB）、探针、固定环组成，PCB板主要用于承载探

4、针，为确保探针针距不发生较大位移，根据应用环境选用不同的材料，包括金属片、陶瓷片、环氧树脂等将探针固定于PCB上，该固定材料称为固定环。探针卡一般可分为刀片式探针卡、环氧树脂探针卡、垂直探针卡三大类，针对不同的应用需求，选择合适的探针卡非常重要。谢谢大家！