微电子器件工艺课程设计-pnp双极型晶体管的设计

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1、课程设计课程名称微电子器件工艺课程设计题目名称PNP双极型晶体管的设计学生学院___材料与能源学院____专业班级09微电子1班学号学生姓名____456_指导教师_______2012年7月4日29广东工业大学课程设计任务书题目名称pnp双极型晶体管的设计学生学院材料与能源学院专业班级微电子专业09级1班姓名456学号一、课程设计的内容设计一个均匀掺杂的pnp型硅双极晶体管，满足T=300K时，基区掺杂浓度为NB=1016cm-3,共发射极电流增益β=50。BVCEO=60V，设计时应尽量减小基区宽度调制效应的影响，假设经验参数为年n=3)二、课程

2、设计的要求与数据1．了解晶体管设计的一般步骤和设计原则2．根据设计指标设计材料参数，包括发射区、基区和集电区掺杂浓度NE,NB,和NC,根据各区的掺杂浓度确定少子的扩散系数，迁移率，扩散长度和寿命等。3．根据主要参数的设计指标确定器件的纵向结构参数，包括集电区厚度Wc，基本宽度Wb，发射区宽度We和扩散结深Xjc,发射结结深Xje等。4．根据扩散结深Xjc,发射结结深Xje等确定基区和发射区预扩散和再扩散的扩散温度和扩散时间；由扩散时间确定氧化层的氧化温度、氧化厚度和氧化时间。5．根据设计指标确定器件的图形结构，设计器件的图形尺寸，绘制出基区、发射区

3、和金属接触孔的光刻版图。6.根据现有工艺条件，制定详细的工艺实施方案。7．撰写设计报告三、课程设计应完成的工作1.材料参数设计2.晶体管纵向结构设计3.晶体管的横向结构设计（设计光刻基区、发射区和金属化的掩膜版图形）294．工艺参数设计和工艺操作步骤5.总结工艺流程和工艺参数6.写设计报告四、课程设计进程安排序号设计各阶段内容地点起止日期1教师布置设计任务，讲解设计要求和方法教1-4142012.6.252学生熟悉设计任务，进行资料查阅和整体设计方案的制定图书馆工三3172012.6.263设计晶体管的各区材料参数和结构参数设计图书馆工三317201

4、2.6.274.教师集中辅导，分析材料参数和结构设计中存在的主要问题教1-4142012.6.285晶体管工艺参数设计，实验室教1-4142012.6.29-2012.6.306绘制光刻基区、发射区和金属化的版图实验室教1-4142012.7.12012.7.28教师集中辅导，分析工艺设计中存在的主要问题实验室教1-4142012．7.39总结设计结果，写设计报告实验室图书馆2012.7.410写课程设计报告图书馆，宿室2012.7.511教师组织验收，提问答辩实验室2012.7.6五、应收集的资料及主要参考文献1．《半导体器件基础》RobertF.

5、Pierret著，黄如译，电子工业出版社，2004.2．《半导体物理与器件》赵毅强等译，电子工业出版社，2005年.3．《硅集成电路工艺基础》，关旭东编著，北京大学出版社，2005年.29发出任务书日期：2012年6月25日指导教师签名：计划完成日期：2012年7月6日基层教学单位责任人签章：主管院长签章：目录一、课程设计目的与任务……………………………………………………5二、课程设计时间……………………………………………………………5三、课程设计的基本内容………………………………………………………53.1微电子器件与工艺课程设计――npn双极型晶体

6、管的设计…………………5293.2课程设计的主要内容：………………………………………………………5四、课程设计原理………………………………………………………………6五、工艺参数设计………………………………………………………………65.1晶体管设计的一般步骤：……………………………………………………65.2材料参数计算………………………………………………………………105.2.1各区掺杂浓度及相关参数的计算…………………………………………105.2.2集电区厚度Wc的选择………………………………………………………105.2.3基区宽度WB…………………

7、………………………………………………105.2.4晶体管的横向设计………………………………………………………135.2.4.1晶体管横向结构参数的选择……………………………………………135.3工艺参数设计…………………………………………………………………155.3.1晶体管工艺概述…………………………………………………………155.3.2工艺参数计算思路………………………………………………………155.3.3基区相关参数的计算过程：………………………………………………165.3.4发射区相关参数的计算过程……………………………………………175.3

8、.5氧化时间的计算…………………………………………………………185.3.6外延层的参数计算……………………