PNP双极型晶体管课程设计.docx

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1、pnp双极型晶体管课程设计学生姓名馥语甄心目录1.设计任务及目标......................................................................P12.概述－发展现状......................................................................P13.设计思路.................................................................................P24.各材料参数和结构参数的设计...........

2、....................................P24.1原材料的选择....................................................................................P24.2各区掺杂浓度和相关参数的计算....................................................P44.3集电区厚度Wc的选择.....................................................................P54.4基区宽度WB的选择

3、........................................................................P74.5扩散结深及发射区面积、基区面积的确定....................................P75.工艺参数设计.........................................................................P85.1硅片氧化相关参数.........................................................................

4、...P85.2基区扩散相关参数............................................................................P95.3发射区扩散相关参数......................................................................P106.刻画掩模板.............................................................................P126.1基区掩模板..........................

5、..............................................................P126.2发射区掩模板....................................................................................P126.3金属引线掩模板................................................................................P136.4设计参数总结.....................................

6、...............................................P147.工艺步骤.................................................................................P147.1清洗....................................................................................................P157.2氧化工艺.............................................

7、...............................................P157.2光刻工艺............................................................................................P177.4磷扩散工艺........................................