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1、编号河南大学2010届本科毕业论文光刻技术历史与发展姓名：作者学号：1003618023所在学院：所学专业：电子信息科学与技术导师姓名：导师职称：讲师-12-摘要光刻工艺是集成电路最重要的加工工艺，他起到的作用如题金工车间中车床的作用，光刻机如同金属加工工车间的车床。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技束。光刻也是制造IC的最关键技术，他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技与社会发展中，光刻已经每年以百分之三十五的速度增长，他的增长，直接关系到大型计算机的运作等高科技领域，现
2、在大型计算机的每个芯片上可以大约有10亿个零件。这就需要很高的光刻技术。如今各个大国都在积极的发展光科技束。光刻技术与我们的生活息息相关，我们用的手机，电脑等各种各样的电子产品，里面的芯片制作离不开光科技束。在我们的日常生活中，也需要用到光刻技术制造的各种各样的芯片，最普通的就是我们手里的手机和电脑。如今是一个信息社会，在这个社会中各种各样的信息流在世界流动。而光刻技术是保证制造承载信息的载体。在社会上拥有不可替代的作用。本论文的作用是向大家普及光刻的发展历史和光刻的发展方向，以及光刻的种类，每种光刻
3、种类的优点和缺点。并且向大家讲述光刻的发展前景。在光刻这一方面，我国的专利意识稀薄，很多技术都没有专利，希望我辈能改变这个状况关键字:光刻技术；光刻种类；光刻中外历史。-12-Lithographyprocessisthemostimportantprocessingtechnologyofintegratedcircuit,heplayaroleSuchastheroleofthelatheinmachiningshop,lithographyasmetalworkingshoplathe.Inth
4、ewholechipmanufacturingtechnology,implementationofalmosteveryprocessisinseparablefromthelithographytechnologyofbeam.LithographyisthekeytechnologyofmanufacturingIC,hewarmorethan35%ofthechipmanufacturingcost.Intoday'sscienceandtechnologyandsocialdevelopme
5、nt,lithographyhasbeengrowingatthirty-fivepercentayear,hisgrowth,isdirectlyrelatedtotheoperationoflargecomputerandotherhigh-techareas,largecomputerperchipcannowhasabout1billionparts.Thiswillrequireaveryhighlithography.Nowthebigcountriesareactivelythedeve
6、lopmentoflightbeamtechnology.Lithographyiscloselyrelatedtoourlife,weusethephone,allkindsofelectronicproductssuchascomputer,theinsideofthechipproductionwithoutlightbeamofscienceandtechnology.Inourdailylife,alsoneedtousephotolithographytechnologymanufactu
7、ringallkindsofchips,themostcommonisourcellphonesandcomputers.Todayisainformationsociety,inthesocietyallkindsoftrafficflowintheworld.Andmakethebearinglithographytechnologyistomakesurethecarrierofinformation.Hasanirreplaceableroleinsociety.Roleofthispaper
8、istopopularizethedevelopmentdirectionofthedevelopmenthistoryoflithographyandlithography,andthetypesoflithography,andtotalkaboutthedevelopmentoflithography.Inlithographyontheonehand,China'spatentconsciousnessisthin,alotoftechnolog
