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时间:2021-01-18
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1、内容简介:微系统是集成微传感器、微执行器、处理电路等的芯片集成系统,是微型化技术的前沿学科。本课程介绍微系统的基础理论、设计制造方法、重要发展方向和前沿领域,包括微制造技术,物理力学基础,微传感器,微执行器,RF-MEMS,光学微系统,芯片实验室,BioMEMS,PowerMEMS。
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