微传感器与微执行器全书-科学出版社电子商务平台

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1、MicromachinedTransducersSourcebook微传感器与微执行器全书〔美〕格雷戈里T．A．科瓦奇著张文栋等译北京GregoryT．A．Kovacs：MicromachinedTransducersSourcebookISBN：0－07－290722－3Copyright憋１９９８bytheMcGraw唱HillCompaniesInc．AuthorizedtranslationfromtheEnglishlanguageeditionpublishedbyMcGraw唱HillCompaniesInc．Nopartofthispublicati

2、onmaybereproducedordistributedbyanymeans，orstoredinadatabaseorretrievalsystem，withoutthepriorwrit唱tenpermissionofthepublisher．Allrightsreserved．SimplifiedChinesetranslationeditionjointlypublishedbySciencePressandMc唱Graw唱HillEducation（Asia）Co．本书中文简体字版由科学出版社和美国麦格劳希尔教育出版集团合作出版，未经出版者书面许可，不

3、得以任何方式复制或抄袭本书的任何部分。版权所有，翻印必究。本书封面贴有McGraw唱Hill公司防伪标签，无标签者不得销售。图字：01－1999－2146内容简介本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。特别是本书提供了大量的参考文献，为读者参考国内外相关研究情况提供了全面的背景资料。本书可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。图书在版编目（CIP）数据微传感器与微执行器全

4、书／（美）格雷戈里T．A．科瓦奇著：张文栋等译畅—北京：科学出版社，２００３畅３ISBN７唱０３唱０１０５６５唱６Ⅰ畅微⋯Ⅱ畅①格⋯②张⋯Ⅲ畅①传感器微型②执行器微型Ⅳ畅①TP２１２②TH８６中国版本图书馆CIP数据核字（２００２）第０５０２６０号责任编辑：吴俭顾英利／责任校对：刘小梅责任印制：刘士平／封面设计：王浩出版北京东黄城根北街１６号邮政编码：１００７１７http：／／www．sciencep．com印刷科学出版社发行各地新华书店经销倡２００３年３月第一版开本：B５（７２０×１０００）２００３年３月第一次印刷印张：４４１／２印数：１—２５００字数：１０５１０

5、００定价：78畅00元（如有印装质量问题，我社负责调换枙新欣枛）谨将此书献给我的父母亲———乔治·科瓦奇和克拉拉·科瓦奇，感谢他们用爱哺育我成长，正是他们激励我对周围的世界充满好奇。作者简介格雷戈里T．A．科瓦奇（GREGORYT．A．KOVACS）毕业于加拿大不列颠哥伦比亚大学并获得电子工程学士学位，在美国加州大学伯克利分校获得生物工程硕士学位，后来又在斯坦福大学分别获得电子工程博士学位和医学博士学位。从１９９１年起他在斯坦福大学任教，现为该校电子工程系教授，讲授电路和微机械传感器和执行器课程。目前他的研究领域包括固态传感器与执行器、微机械加工技术、流体器件在生物

6、学和医学中的应用以及与传感器和执行器应用有关的模拟电路等，所有这些工作都强调解决实际问题。他已发表八十多篇学术论文并拥有数项专利。１９９２～１９９４年他当选为罗伯特．N．努依家族（RobertN．NoyceFamily）教授奖主席，１９９３年获得美国国家科学基金青年研究者奖，１９９４年被聘为特曼（Terman）会士，１９９５年成为国防科学研究委员会委员，１９９６年他获得大学终身教授资格。他在电路和仪器设计、民用产品设计、知识产权的法律咨询等方面具有非常丰富的行业经历。此外，他还是几家高技术公司的奠基人之一，其中最近成立的一家是位于加利福尼亚州桑尼威尔（Sunnyva

7、le，CA）的Cepheid公司。中文版序本书的原版自出版至今已经两年多了，我非常骄傲地看到它被美国数所大学用作该学科的教科书。我也很荣幸地看到该书由中国华北工学院的张文栋教授认真译成中文。在此，我对张教授翻译工作中的耐心与细致深表感谢。自从本书原版出版以来，该领域受到越来越多的关注。微机械器件的成功可以从几个不同的角度来衡量，最常见的是看其在市场上是否成功。从这个角度讲，微机械器件作为一种商品没有像人们预期的那样出现急剧的增长。在许多情况下，这是由于它们在市场上必须与已存在的（常常更便宜的）替代品竞争。事实上，即便那些商业上很成功的器件，如果将它们的开发费用分