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时间:2020-11-04
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1、光刻机技术参数一、设备名称:光刻机二、采购数量:1台三、技术参数:1.能支持5"×5"或4"×4"或3"×3"方形掩膜板,对版的厚度无特殊要求。2.基板至少支持碎片和2"、4"等圆形晶片,对于非标准片或碎片,应能提供一定的支持方案。3.曝光的最小分辨度≤1μm.。4.汞灯功率不低于250W,紫外光光强均匀性优于±3%(4"范围)或±5%(6"范围)。5.对准精度±0.5μm。四、配置要求: 1、光刻机主机1台。 2、3"、4"、5"掩膜夹板。 3、2"、4"等圆形晶片承片台。 4、高质量抗震台。 5、无油真空泵。五、安装、售后及培训: 1、交
2、货期:合同正式生效后90天内。 2、质保期:自验收之日起,仪器设备至少免费保修一年。 3、仪器安装、验收:提供免费的安装调试,并按照出厂指标验收。 4、培训:免费提供该仪器设备培训。1
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