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高纯石墨粉在半导体工业中的应用

高纯石墨粉在半导体工业中的应用

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时间：2017-12-29

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1、高纯石墨粉在半导体工业中的应用随着电子产品的不断升级换代，半导体工业在近些年逐渐引起了人们的重视，然而，半导体工业的发展与高纯石墨粉在这个行业的应用是分不开的，可以说，高纯石墨粉的不断研究与探索带动了半导体工业的进步。在半导体工业中，其主要加热系统、烧结模具、保温罩、电极等都是由高纯石墨粉作为材料制成的。采用高纯石墨粉做加热器是充分利用了石墨粉耐高温的特点，在高温状态下，高纯石墨粉制品依然保持良好的尺寸稳定性，这对工件的精度起到了保障作用。半导体工业要求所用的石墨材料颗粒度要小，目前，青岛华泰石墨生产的高纯石墨粉已经

2、满足这一要求，经过验证，使用高纯石墨粉的设备，加工的工件更容易达到精度，而且在反复加热中，设备的损耗非常小。

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