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时间:2017-12-29
《高纯石墨粉在半导体工业中的应用》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、高纯石墨粉在半导体工业中的应用随着电子产品的不断升级换代,半导体工业在近些年逐渐引起了人们的重视,然而,半导体工业的发展与高纯石墨粉在这个行业的应用是分不开的,可以说,高纯石墨粉的不断研究与探索带动了半导体工业的进步。在半导体工业中,其主要加热系统、烧结模具、保温罩、电极等都是由高纯石墨粉作为材料制成的。采用高纯石墨粉做加热器是充分利用了石墨粉耐高温的特点,在高温状态下,高纯石墨粉制品依然保持良好的尺寸稳定性,这对工件的精度起到了保障作用。半导体工业要求所用的石墨材料颗粒度要小,目前,青岛华泰石墨生产的高纯石墨粉已经
2、满足这一要求,经过验证,使用高纯石墨粉的设备,加工的工件更容易达到精度,而且在反复加热中,设备的损耗非常小。
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