真空炉中常用的几种真空系统.doc

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1、真空炉中常用的几种真空系统真空系统   真空热处理炉的真空系统的三个基本要求：1)能迅速地将真空热处理炉的真空度抽到规定的要求。2)能及时排出被处理工件和炉内构件所释放出的各种气体，以及因真空泄漏而渗入炉体内的气体。3)真空机组占地面积小，运行安全可靠，操作简便。   真空系统的组成   真空热处理炉的真空系统通常由真空获得设备(真空泵机组)、控制真空组件和测量真空组件所组成。1)真空泵机组。根据炉子工作压力和抽气量的大小，分别选配不同的低真空泵、中真空泵、高真空泵和超高真空泵。2)真空组件或元件。在真空炉体和真空泵机组之间配备的各种真空组件或真字元件，如管路、密封圈、法兰

2、、波纹管、冷阱、过滤器和阀门等。3)真空测量系统，如真空规管、真空压力表和其他真空测量仪表。4)真空检漏仪器、真空控制仪器、充气装置等。真空炉品种多，对真空系统的要求不一样。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系统。下面介绍几种常用的真空系统。1．低真空系统  低真空系统适用于真空度在2～1333Pa范围的真空热处理炉，如预抽低真空井式炉。大多以油封式旋转机械泵为主泵。2．中真空系统中真空系统适用于真空度在3X10～～1．333Pa范围的真空热处理炉。中真空系统在真空热处理炉中应用最广泛，其通常由两级真空泵机组组成。初级泵多采用旋转机械泵或滑阀式机械泵，主泵为机械增压泵(

3、罗茨泵)或油增压泵3．高真空系统高真空系统适用于真空度在6．6×10～～1．333X10。Pa范围的真空热处理炉，如真空退火炉、真空钎焊炉，通常由三级真空泵机组组成，主泵通常采用油扩散泵、离子泵，初级泵大都也是采用旋转机械泵或滑阀式机械泵。