卧式真空炉方案.doc

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1、高真空合金炉技术协议本设备主要用于半导体元器件及真空钎焊、烧结、退火等真空处理工艺。一、技术要求：1、工作温度：300~1000℃2、等温区长度：600mm/±1℃3、冷态真空度：6.3X103Pa（采用扩散泵）4、真空室有效口径：Φ170mm，（石英管）5、设备总功率：~20KW6、真空石英管下端设有风冷系统7、工作方式：手动与自动8、加热炉体箱自动进退9、控制系统：采用进口MR13温控表，可设置升降温曲线.10、功率大线采用履带式拖链结构。二、设备结构该设备为单管结构：主要由设备机架、工作室（石英管）、机头系统、炉体车传动系统、水冷却及风冷系统、真空系统、电气控制部分等组成

2、。1、设备机架：用来承载真空工作室、加热炉体，动力传动等部分。横向移动导轨。机架下端装有电气控制部分、变压器、气动控制、风水冷却系统等。2、真空工作室：真空工作室前端为过渡端，由不锈钢管、支撑架、真空系统连接管、法兰、炉门结构组成。后端由石英管及法兰构成。1、加热炉体：A、炉体采用圆柱形结构。外壳采用不锈钢板，保温材料采用合资摩根高密度保温棉，炉体上装有三只控温热偶。炉体端环有效口径为φ204mm。B、加热炉体放入炉体框内。炉体框下端面设有滚轮，滚轮轴上设有链轮与控制电机连接，由前端控制面板操作。2、冷却系统：A、由风冷风机进行冷却，风冷系统设在石英管的下端，主要快速对石英管外围

3、降温。炉体退出后，开启风冷风机，以免热量辐射台面，影响正常工作。B、水冷却主要对法兰密封处的及炉门上橡胶圈冷却。以及扩散泵、机械泵的冷却。3、真空系统：由高真空K-200扩散泵、及2X-15机械泵、水冷挡板、高真空气动挡板、高真空气动蝶阀、电磁阀、手动放气阀，真空管道、复合真空计、真空压力表等组成。所有控制按钮均设在一个文本触摸显示器上，根据工艺要求随时开启所需的按钮进行工作。自动采用PLC编程控制，主要完成对真空室抽真空及达到真空度后给出压力信号而完成其余的工艺过程等功能。真空系统设在真空管道前端的侧面，由法兰连接，真空主系统由扩散泵-水冷挡板-高真空气动挡板-连接真空室。真空

4、旁路上端连接高真空气动挡板阀，下端连接扩散泵。并设有直角-波纹管-三通-两组高真空气动蝶阀（一支低阀，一支预阀）-热偶规管-电离规管-三通连接电磁阀及机械泵。所有阀为自动开启。在前端真空室设有手动放气阀。自动控制范围（PLC编程）：开启机械泵（关闭高真空挡板阀）-打开旁路上的预阀-抽扩散泵真空-打开扩散泵加热器（约40min）-关闭预阀-开启低阀-抽真空室真空（观察复合真空计）-关闭低阀-打开预阀-开启高真空气动挡板阀-抽室内高真空-炉体运行到位，关预阀-开低阀-关低阀-开预阀-开启高真空气动挡板阀（抽真空与充气可根据PLC编程程序循环）-工作完毕-炉体退出-风冷降温到一定温度-

5、可采用手动放气。真空度由复合真空计显示操作。1、电气控制部分：由温控系统和功率系统两部分组成。温控系统由控温仪，热电偶、报警系统组成。功率系统由加热炉体、变压器、可控硅模块等组成。主要用来对工作室进行升温、恒温等加热控制。由进口MR13控温表控制，用于对工作室内温度的监控，控制仪表板上设有各种控制按钮及文本触摸显示器、完成对各真空阀门的控制和指示，炉体电机状态的控制，工艺时间的控制及整个操作系统的手动和自动控制。直观、方便操作