中型真空炉的技术升级

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1、真空电子技术!"#$$%&’&#()*+,#-·工艺与应用·中型真空炉的技术升级成永东，李明光（电子科技大学物理电子学院，四川成都610054）TechnicalUpgradeofaMiddle-SizedVacuuLFurnaceCHENGYong-dong，LIMing-guang（CollegeofPhysicalElectronics，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu610054，China）Abstract：Theoilvaporcontaminat

2、ionintheoldvacuumfurnacewasinheritedfromitsoildiffusionpump，andtheinaccuracytemperaturecontrolofthefurnacechamberwasresultedfromthemanualtemperatureadjust-ment.Theseproblemshaveseverelyrestrictedthedevelopmentofvacuumtechnologyinourlaboratories.Byre-placingtheoildiffusionp

3、umpwithaturbomolecularpumpandaddinganautomatictemperaturecontrolsystemstheoldfurnacehasbeenupgraded.Agoodresulthasbeenachievedwithalowerexpenditureinthisway.Keyword：Equipment；Vacuumfurnace；Technicalupgrade；Design摘要：老式真空炉由于采用了油扩散泵和手动控温方式，存在真空系统被油污染和控温精度差的问题，严重影响了真空工艺质量。本文介绍

4、了一种在真空系统和电控加热方面升级的思路和依据，以较少的投入实现了设备的升级。关键词：设备；真空炉；技术升级；设计中图分类号：TG454文献标识码：B文章编号：1002-8935（2005）03-0046-03当今世界电真空器件行业迅猛发展，对微波管热，手动调节三相可控硅导通角控制电压实现温度器件的制造工艺提出了更高的要求。真空炉作为电控制。真空行业的关键设备之一，其性能主要体现在真空设备的缺陷：①真空系统最大的问题是使用了获得办法以及炉温控制技术方面，这直接关系到电油扩散泵，由于水冷挡板的效果不佳，扩散泵返油造真空零件的焊接质量和材料除气

5、净化的质量。老式成真空系统油污染问题，真空炉工作几百个小时后，真空炉由于当时技术的局限性，这些性能指标明显隔热屏上的油污就很明显，而且返油蒸气总是吸附落后而将被淘汰。而现在一台中型真空炉，市场售在炉壁内、隔热屏等温度不高的地方，非常难清除，价一般在40万以上，这对一些课题经费较少、设备日积月累，会造成真空热处理性能下降。②前级真使用率不高的科研单位而言，重新购置很不合算，他空采用的机械旋片泵，故障率较高。③纯人工方式们更多希望走改造升级的路子，花费在10万元以控制温度，操作频繁，操作人员的随意性大，控制精内。本文介绍了一种符合这种需要的老式

6、真空炉升度差，工艺一致性难以保证。级方法。2真空炉主要升级指标最高工作温度：1200࠷；加热功率：30kW；炉1老式真空炉简介和缺陷膛有效容积：Φ160*200；冷态极限真空度：小于5老式中型真空炉炉体一般采用立式结构，由壳-5-3*10Pa；热态极限真空度：小于1*10Pa；温体、加热器、隔热屏、顶盖和水冷系统构成。真空系度控制精度：小于+2࠷。统采用油扩散泵和机械旋片泵组成的两级真空机组，还包括电磁阀、冷阱真空管路、电离真空计等。3真空系统的设计内热式的加热系统，以钼丝作加热器，低压大电流加为减少真空系统的油污染问题，新设计并制造!"!

7、""#$"%!"#$$%&’&#()*+,#-真空电子技术了由直联式机械泵与涡轮分子泵构成的半无油真空2所示的全闭环控制的加热电源。采用“岛电”FP21系统，结构示意图如图1所示，图中PU1为直联泵，可编程智能温度控制器作为核心，配以PAC35P三PU2为分子泵，V1为放气阀，V2为粗抽阀，V3为相半控桥式移相调功模块，实现对加热功率的调节，闸板阀，V4为隔断放气阀，G1为冷阴极规，G2为皮低电压大电流变压器实现加热电流的转换，最大输拉尼规。在机械泵与涡轮分子泵之间设置一个隔断出电流可达800A。放气阀，防止机械泵返油。图1真空系统结构示意

8、图3.1涡轮分子泵的选择由公式pEQ／S可以计算选择涡轮分子泵的抽速，式中p为极限真空度（Pa）；Q为炉室内气载（Pa·m3／s），包括工作过程产生的气体量、真空室和图2加热系统