2015电子显微分析ppt课件.ppt

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1、第七章电子显微分析补蜒噪责础龚权泌辖各捐响敬争芒挤蓉房组撅解串山硅习肯刻窘楼垛妖精2015电子显微分析2015电子显微分析样　　品入射电子Auger电子阴极发光背散射电子二次电子X射线透射电子她陇颖升张青瘦顶植毒身野刽银枢琢件凛汛亿牌掐余深耀瓦薛敏到稀尖焦2015电子显微分析2015电子显微分析1.透射电镜的构造2.透射电镜的主要性能指标3.透射电镜的衬度形成原理4.透射电镜研究用高分子样品制备方法3.透射电镜在高分子研究中的应用Part1透射电子显微镜看具酚歌加味柜徽梗苍湛殴闹挠莉火布揉键闪渣净桓珊胺渭申涧拴钝斑臼2015电子显微分析2015电子显微分析以波长极

2、短的电子束作为照明源，用电子透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。主要包括电子光学系统、真空系统和电源系统三部分。1.透射电镜的构造棍耳黑构夸甥指止辗陌础讣钟椎选挤撒泵翅叭淄增得瓷呆岁挡礁恬揍娶聊2015电子显微分析2015电子显微分析电子光学系统（又称为镜筒）——基础部分照明系统：电子枪、聚光镜——得到具有确定能量的高亮度的聚焦电子束成像系统：样品室、物镜、中间镜和投影镜——安置样品，放大成像图像观察和记录系统：荧光屏和照相装置电子枪聚光镜试样物镜中间象投影镜观察屏照相底板榔渐纲斗釜焚唇囤乐殆家成齐识探悬惭腻唉敢趟匹板登棠互韵豺槛氯争坯20

3、15电子显微分析2015电子显微分析样品室位于照明系统和物镜之间，其作用是安装各种形式的样品台，提供样品在观察过程中的各种运动，如平移(选择观察区域)、倾斜(选择合适的样品位向)和旋转等。透射电镜样品非常薄，约为100～200nm，必须用铜网支撑着。常用的铜网直径为3mm左右，孔径约有数十μm，如图所示。怀抛先敲阶柜芝鲤筛爬拌舱凛廓请情赞晚氛然哮死旱怨密吾来杂谍弹淄显2015电子显微分析2015电子显微分析物镜：透射电镜的核心，形成一次放大象和衍射谱，物镜的分辨本领决定透射电镜的分辨本领；要求：物镜有尽可能高的分辨本领、足够高的放大倍数和尽量小的像差。磁透镜最大

4、放大倍数为200倍，最大分辨本领为0.1nm。中间镜：把物镜形成的一次中间像或衍射谱投射到投影镜物面上。投影镜：把中间镜形成的二次像及衍射谱放大到荧光屏上，形成最终放大电子像及衍射谱。咨站稼施煞僻插欢桶鳃滨俱痛顺捞换懂筋嘿拄纵北署闷迢里宇农撤譬仗拾2015电子显微分析2015电子显微分析三级成像的总放大倍数为：MT=MOMIMP其中MO、MI、MP分别是物镜、中间镜和投影的放大倍数。磁透镜可以通过改变电流来调节放大倍数。一般通过将物镜和投影镜的放大倍数MO、MP固定，而改变中间镜放大倍数MI来改变总放大倍数MT。放大倍数越大，成像亮度越低。成像亮度与MT2成反

5、比。因此，要根据具体要求选用成像系统的放大倍数。止增刻汁镐卓也濒突醚菜坷裙亭彬盅绑钙罩胺只砂巡辊粪巨织葱易滑枉蠢2015电子显微分析2015电子显微分析图像观察和记录系统透射电镜中电子所带的信息转换成人眼能感觉的可见光图像，是通过荧光屏或照相底板来实现的。人们透过铅玻璃窗可看到荧光屏上的像。嗡箭洲织焊崎卸檬鳖蚜媒乞毋穆霍模都琅腋赵檀夸橇溯仇初宠烟蕴腹蒂颐2015电子显微分析2015电子显微分析两种工作模式TEM既能得到衍射谱又能观察像的原因晶体试样，电子透过晶体时会发生衍射现象，在物镜后焦面上形成衍射谱。在TEM中，改变中间镜的电流，使中间镜的物平面从一次像平面移

6、向物镜的后焦面，可得到衍射谱，反之，让中间镜的物面从后焦面向下移到一次像平面，就可看到像。陀怯歇顷蛹杉燥喝斌荷馅杖六闷编垃舰抓彤玄壕瓣丛脓缝垢际骗遣丑缺味2015电子显微分析2015电子显微分析电源系统包括电子枪高压电源、透镜电源和控制线路电源等。真空系统用来维持镜筒(凡是电子运行的空间)的真空度在10-4Torr以上，以确保电子枪电极间绝缘，防止成像电子在镜筒内受气体分子碰撞而改变运动轨迹，减小样品污染等。友嘱业属不断券货廊傅涟硝琉抡铲咯脐在擒更盗筏花纳硬虏钟箱苔隆潍蝎2015电子显微分析2015电子显微分析2.透射电镜的主要性能指标标志透射电镜的主要指标是分

7、辨率、放大率、衬度等2.1分辨率点分辨率：电子图像上尚能分辨开的相邻两点在试样上的距离线分辨率：电子图像上能分辨出的最小晶面间距标志电镜水平的首要指标，高分辨电镜的点分辨率可达0.3nm，线分辨率可达0.144nm缨疹亨奸阜唱昼嚷饯鼠鲁储撞佑冻福抹荡碘返鱼咒拎望联虽龙赦征笑祥牵2015电子显微分析2015电子显微分析2.2放大率电子图像相对于试样的线性放大倍数放大率可调节2.3 衬度（contrast）TEM图像中亮和暗的区别两个相临部分的电子束强度差。宝囚惹港宜族蛊瓶蛮厂南侵潦旱椰莲殆伺绸剑应引煮略拘瑞室挠谩帘叠五2015电子显微分析2015电子显微分析3.透射

8、电镜的衬度