Array工艺与设备ppt课件.ppt

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1、BOEU技术基础课程-Array工艺与设备检测设备与工艺4学时1.0版2016.02.29教学目标学生在完成本次培训后，将可以：1.可以明确叙述各设备工作原理2.可以明确叙述各设备对于产品设计的需求3.可以明确叙述Array检测设备对于各类产品的检测难点及解决方案4.可以明确叙述抽测设备的检测原理及意义5.可以明确叙述Invisible的原因6.Array检测设备与工艺6.1Array检测设备与工艺概述6.2Array工艺不良检测设备与工艺6.3Array工艺不良维修设备与工艺6.4ArrayTest检测能力提升维修能力提升6.5Array品质监控检测设备与工艺6.Array检测设备与工艺6

2、.1Array检测设备与工艺概述6.1.1Array检测设备工艺流程6.1.2两大工艺对象：产品特性，工艺不良6.1.3两大基本任务：信息反馈，不良维修6.2Array工艺不良检测设备与工艺6.2.1ArrayTester设备原理，作用，工艺特点6.2.2OSTest设备原理，作用，工艺特点6.2.3AOITest设备原理，作用，工艺特点6.2.4CrossShort设备原理6.3Array工艺不良维修设备与工艺6.3.1ArrayCutrepair设备原理，作用，工艺特点6.3.2ArrayCVDrepair设备原理，作用，工艺特点6.3.3Repair维修数据来源6.4ArrayTest

3、检测能力提升维修能力提升6.4.1产品设计需求及不同产品设计对检出的影响（设计好/优化）6.4.2ArrayTest检测难点及对应（检测好/优化）6.4.3Invisible不良分析与管控（管控优化）6.4.4ArrayTest内部工艺关联及配合（管理优化）6.4.5Repair维修率管控及改善（维修优化）6.4.6检测&产能（嫁动优化）6.5Array品质监控检测设备与工艺6.5.1EPMTest设备原理，作用6.5.2膜厚测试机：4-Point，Thickness，设备原理，作用6.5.3关键尺寸测试机：HT/CD，TP/CD，设备原理，作用6.5.4Mura检测机：Macro&Micr

4、o，AutoMacro，设备原理，作用6.5.5PT监控机：PT，设备原理，作用6.5.6成分测试机：Air-SEM，μ-PCD，X-Ray，设备原理，作用6.5.7台阶测试机：StepProfile，设备原理，作用6.Array检测设备与工艺6.1Array检测设备与工艺概述6.1.1Array检测设备工艺流程6.1.2两大工艺对象：产品特性，工艺不良6.1.3两大基本任务：信息反馈，不良维修引言这是发生在第二次世界大战中期，美国空军和降落伞制造商之间的真实故事。当时，降落伞的安全性能不够。在厂商的努力下，合格率已经提升到99.9%，仍然还差一点点。军方要求产品的合格率必须达到100%。对

5、此，厂商不以为然。他们认为，没有必要再改进，能够达到这个程度已接近完美。他们一再强调，任何产品也不可能达到绝对100%的合格，除非出现奇迹。　　不妨想想，99.9%的合格率，就意味着每一千个伞兵中，会有一个人因为跳伞而送命。　　后来，军方改变检查质量的方法，决定从厂商前一周交货的降落伞中随机挑出一个，让厂商负责人装备上身后，亲自从飞机上跳下。　　这个方法实施后，奇迹出现了：不合格率立刻变成了零。启示：1.良率是永恒的话题。2.提高质量永远不存在一个“止”字。3.Higheryield，moremoney。6.1Array检测设备与工艺概述6.1.1Array检测设备工艺流程：Array

6、设备分类及概述Array制造设备ThinFilmPhoto&TrackEtch&StripArray检测与维修设备Array工艺不良检测设备Array品质监控检测设备Array工艺不良维修设备Array设备维修，良率提升监控，品质保证反馈，不良改善6.1.1Array检测设备工艺流程：Array工艺不良检测设备&维修设备2ndITOAnnealGateStripSDStripAOIOSCutRepairCVDRepairAOIOSCutRepairCVDRepairAOICutRepairCSIATTest&Repair安排在Array制程中间的好处：可以尽早知道不良发生趋势，提前反馈；维修

7、方法简单。CVDRepairEPMArrayOut6.1Array检测设备与工艺概述6.1Array检测设备与工艺概述6.1.1Array检测设备工艺流程：Array品质监控检测设备Process监控参数品质监控设备Init.CleanerParticle数量控制PTSputter电阻值，光学可见不良，ParticlePT,RS,PIPECVD膜厚，均一性，光学可见不良PI,Thickness,MMPhoto