去噪后单晶硅表面形貌的反射率分析-论文.pdf

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1、竺竺三工艺设计改造及检测检修⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯去噪后单晶硅表面形貌的反射率分析徐瑞芬(丽水职业技术学院，浙江丽水323000)【摘娶】针对单晶硅表面在制绒时会有“凹坑”缺陷出现的现象，利用双正交提升小波bior4．4进行分段处理，将“凹坑”缺陷等价为“类三角形”的金字塔模型去噪。通过对去噪后的单晶硅绒面建立反射率的估计计算模型，进行反射率的估计计算。结果表明，将“凹坑”缺陷等价处理后能有效地降低反射率’同时得出单晶硅绒面的平均反射率与绒面的一致性存在一定的关系，有必要进一步控制绒面制造工艺因素，提高微结构的一致性。【关键词】单晶硅表面形貌凹坑去噪反射率[AbstrRc

2、t]Inviewofthephenomenonofthepitsoccurredduringtheactualmakingofthetexturesurface．thewaveletli~ingschemeofbioN．4wasselectedforthesubsectionprocess，thenthedroppitswouldbeequaledtosmallpyramidstoreducethereflectivityefectively．Aftertheremovalofthenoises。amodelwasbuildtoestimatethereflectivity．Th

3、eresultsindicatethatthereisagapbetweenthepracticalandtheidealreflectivity，anditisnecessarytocontrolthemanucturefactorsfurther．forimprovingthetexturesurface．[Keywords]surfacetopographyofmonocrystallinesiliconpitstheremovalofthenoisesthereflectivity太阳能电池硅基片的表面特性，很大程度上取决于表面形，微结构。本文针对单晶硅绒面微结构有“凹坑

4、”缺陷，基于双正交提它们直接影响光的反射率【2】。而其中的主要影响因素是表面形貌的升／J~bior4．4对绒面去噪，并对去噪处理后的绒面进行金字塔的平(a)第一组实测形貌(a)(b)第二组实测形貌(b)(c)第三组实测形貌(c)图1三组实测的单晶硅表面形貌图2三组实测绒面的去噪图2014年8月上第15期总第195期35工艺设计改造及检测检修Cl1i眦Science＆TechnologyOverview270o一；一(3)=o2一i(4)：arcsin(墨)(5)其中折射率n=3．861。从而得出金字塔的反射率为：，：。+掣)(6)sin(f+f)tan(f+)图3金字塔的实际估计

5、计算模型1sin~(a-f1)表1平均反射率的计算：(．2、十)(7)sin(+)tan。Ca+第一组第二组第兰组幽R1R2(8)平均反射t4．059—01477％1669％盍总!：±：：：：!如(9)搠均角度的计算，然后建立绒面反射率的估计计算模型，进行反射率3．2绒面反射率估计计算的估计计算。从而对绒面制造工艺具有一定的现实的指导意义。通过计算单晶硅绒面的特征量可得出的第三组的绒面一致性1双正交提升小波相比较第一、二组的一致性要好，并且第一组表面形貌金字塔的平小波分析方法是一个非常重要的研究表面形貌的方法。口1又由均顶角角度为l15．2。，第二组为115．5。，第三组为118

6、．5。【，再根据于表面形貌分析方法要求具有：相位为线性的、冲击响应为有限的式(6)～(9)可以得出实际金字塔的平均反射率如表1所示。以及很好的重构能力等优点。而小波里只有双正交小波符合，又因从表l可以看出，相比之下第三组的平均反射率比第一、二组的为提升格式具有简单、计算快、且可以进行原位运算等优点，所以本平均反射率高些。说明对“凹坑”缺陷等价处理后能有效降低反射文我们选取提升双正交小波进行去噪处理[4I51。率，并且平均反射率跟绒面的一致性有关，主要是金字塔单体的特征量(间距、高度、角度)的分布不是很均匀，导致实测的单晶硅绒面2双正交提升小波的应用的反射率与理想的反射率11％还是

7、存在一定的距离。先应用IGI—wIⅥ；型表面轮廓测量仪[71，测量三组单晶硅表面形貌，再应用双正交提升小波对其进行去噪。4结语2．1实际单晶硅表面形貌的测量本研究分析了实际的单晶硅绒面的噪声，利用双正交提升小波采样长度为，间隔为，点数为2000，选用合适的测量方法，多次进行去噪处理，将“凹坑”缺陷等价为小的“三角形”，从而降低光的发测量后选取得到其中三组单晶硅表面形貌：一组不带“凹坑”缺陷；射率。对去噪后的单晶硅绒面进行特征量的提取，得出单晶硅绒面一组是顶部带“凹坑”缺陷、一组是